隨著科學技術的深入研究，在低溫真空強磁的環(huán)境下提供納米級精密定位的應用在物理學、化學和材料學等領域應用越來越多，而低溫真空無磁壓電運動平臺是一種高精度精密定位設備，主要特點是高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性，可在低溫、真空及磁場等情況下提供精密定位，在半導體加工、檢測等方面廣泛應用。

由芯明天研發(fā)生產的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺，它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應用而設計，可進行XYZ三維掃描運動，采用低溫壓電驅動，耐低溫可達4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無磁材料，采用低溫雙絞線，以適應低溫環(huán)境下的使用。

產品特點

低溫真空無磁，耐低溫可達4K

XYZ三維運動

4K溫度下位移達30μm/軸

分辨率可達2nm

開環(huán)運動控制

響應速度快

產品應用

半導體加工

半導體檢測

高精密測試和操作

其他真空無磁要求的納米運動控制等

技術參數(shù)

推薦控制器

芯明天設計生產多款壓電控制器，如模塊化、小體積型、大功率、工業(yè)式、集成式等。可根據(jù)不同應用場景選擇合適的壓電控制器。

E00/E01系列壓電控制器

E00/E01系列壓電控制器是模塊化式壓電控制器，模塊化，可自由選擇伺服模塊、上位機通信模塊。驅動XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺，選用E01.A3或E01.C3都可，后者增加了上位機通信功能。

E70.C3系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是一款集成式壓電控制器，它的外形尺寸緊湊很多，具有三個輸出通道，可進行上位機通信控制和模擬控制，非常適于驅動XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺。

審核編輯 黃宇