圣彼得堡近日創(chuàng)建了一個國內(nèi)光刻綜合體，包括一臺在基板上進行無掩模圖像采集和硅等離子化學蝕刻的設備。據(jù)開發(fā)人員稱，這臺用于無掩模納米光刻的機器成本約為500萬盧布（約合36.74萬人民幣），而國外同類產(chǎn)品的價值高達數(shù)十億盧布。

圣彼得堡彼得大帝理工大學（SPbPU）的專家表示，他們已經(jīng)成功開發(fā)了兩套用于生產(chǎn)微電子納米結構的裝置，這將有助于解決俄羅斯在微電子領域的技術主權問題。這個設備綜合體包括用于無掩模納米光刻和硅等離子體化學蝕刻的設備。

第一種裝置用于在基板上獲取圖像，無需使用特殊的掩模。開發(fā)人員表示，與傳統(tǒng)光刻技術相比，這項技術在金錢和時間方面更加經(jīng)濟實惠，因為傳統(tǒng)光刻技術需要使用專門的光罩來獲得圖像。這個裝置通過專門的軟件控制，實現(xiàn)了完全自動化。

第二種裝置利用第一階段中創(chuàng)建的基材上的圖案。它的主要用途是直接形成納米結構，但也可以創(chuàng)建硅膜，例如用于船舶表壓傳感器等應用。

據(jù)開發(fā)人員表示，與傳統(tǒng)光刻技術相比，X射線***在金錢和時間方面更加經(jīng)濟實惠，因為傳統(tǒng)光刻技術需要使用專門的光罩來獲得圖像。而X射線***則無需光掩模就能生產(chǎn)芯片。

據(jù)報道，這類裝置的估計成本約為500萬盧布，相當于許多常規(guī)汽車的價格。而國外同類設備的成本據(jù)稱要比該項目研發(fā)的設備高出數(shù)十倍，預計在100至130億盧布之間。

該項目負責人表示，使用這種裝置創(chuàng)建的膜在可靠性和靈敏度方面優(yōu)于液體或激光蝕刻生產(chǎn)的膜。他們還強調(diào)，這是完全國產(chǎn)的產(chǎn)品。

關于俄羅斯自研的蝕刻機的具體成本并未透露。

編輯：黃飛