半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是我國(guó)重要的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，是一個(gè)需要高度協(xié)同的領(lǐng)域，需要各個(gè)環(huán)節(jié)的緊密配合。RFID技術(shù)，作為一種自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)采集技術(shù)，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。通過應(yīng)用RFID技術(shù)，半導(dǎo)體制造企業(yè)可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的追蹤和控制，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，將TI玻璃管標(biāo)簽部署在晶圓盒上，再通過半導(dǎo)體RFID讀寫器識(shí)別晶圓盒玻璃管標(biāo)簽內(nèi)的物料型號(hào)、規(guī)格、加工流程等信息，對(duì)生產(chǎn)過程進(jìn)行精確的控制和調(diào)整。

在晶圓硅晶片清洗環(huán)節(jié)，通過半導(dǎo)體RFID讀寫器讀取清洗區(qū)域內(nèi)的TI玻璃管標(biāo)簽，確定晶圓硅晶片的信息以及到達(dá)清洗位的時(shí)間。清洗作業(yè)完成后，記錄下完成清洗的時(shí)間，并對(duì)已清洗的晶圓硅晶片進(jìn)行標(biāo)記后將本次工序的所有信息上傳到管理系統(tǒng)，避免出現(xiàn)工序混淆的情況。

在晶圓盒存儲(chǔ)柜管理中，把半導(dǎo)體RFID讀寫器嵌入到存儲(chǔ)柜承載平臺(tái)支撐板內(nèi)，在晶圓盒進(jìn)行存取時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫器會(huì)將讀取到的晶圓盒存取信息與時(shí)間自動(dòng)上傳到管理系統(tǒng)上的數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行保存，并對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)里的存取信息進(jìn)行實(shí)時(shí)更新。

當(dāng)晶圓盒放置在半導(dǎo)體電子貨架時(shí)，電子貨架上的半導(dǎo)體RFID讀寫器會(huì)自動(dòng)讀取玻璃管標(biāo)簽，采集存放在電子貨架上的晶圓盒信息，并在前段的顯示屏是哪個(gè)顯示晶圓產(chǎn)品的部分種類信息；若將晶圓盒取走后，半導(dǎo)體RFID讀寫器識(shí)讀不到該位置的標(biāo)簽時(shí)，會(huì)在顯示屏上顯示相應(yīng)的產(chǎn)品已被取走。

半導(dǎo)體天車站點(diǎn)識(shí)別與搬運(yùn)管理，將半導(dǎo)體RFID讀寫器安裝在天車上，RFID標(biāo)簽安裝在行車軌道節(jié)點(diǎn)。在進(jìn)行搬運(yùn)作業(yè)時(shí)，通過半導(dǎo)體RFID讀寫器讀取軌道節(jié)點(diǎn)處的RFID標(biāo)簽，即可獲得天車的行車位置信息，對(duì)天車進(jìn)行實(shí)時(shí)的位置動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，并根據(jù)自身所在的位置進(jìn)行線路規(guī)劃與調(diào)度，確保天車的作業(yè)安全距離與運(yùn)輸效率。在天車行駛到相應(yīng)為止時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫器會(huì)識(shí)別目的地處的標(biāo)簽信息，將該批次的晶圓信息錄入到目的地的晶圓存儲(chǔ)信息庫(kù)中，工作人員可通過在管理系統(tǒng)中快速查找到晶圓盒的所有信息。

RFID技術(shù)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用，不僅可以幫助企業(yè)提高生產(chǎn)效率、降低成本，還可以提高產(chǎn)品質(zhì)量和競(jìng)爭(zhēng)力。

審核編輯 黃宇