氧化釩非制冷紅外探測(cè)器敏感材料詳解
紅外探測(cè)器是紅外熱成像技術(shù)的核心元器件，它能夠感知紅外輻射并且將紅外輻射轉(zhuǎn)化成電信號(hào)輸出，目前世界上主流的紅外探測(cè)器的敏感材料主要是氧化釩和非晶硅兩種，本文詳細(xì)介紹紅外熱成像氧化釩敏感材料。
氧化釩敏感材料采用微測(cè)輻射熱計(jì)技術(shù)與CMOS工藝兼容，能夠與CMOS讀出電路集成，可以基于半導(dǎo)體制造工藝大規(guī)模生產(chǎn)制造，屬于半導(dǎo)體熱敏薄膜，薄膜電阻溫度系數(shù)與電阻率都成正比關(guān)系。
氧化釩敏感材料早在1978年取得突破性研發(fā)進(jìn)展，它的靈敏度要高于a-Si敏感材料，所以Vox敏感材料的器件成像效果要優(yōu)于a-Si。
紅外熱成像探測(cè)器供應(yīng)商高芯科技非制冷紅外探測(cè)器采用Vox技術(shù)路線，覆蓋金屬、陶瓷、晶圓級(jí)三種封裝工藝，面陣規(guī)格從小面陣120x90，256x192到主流面陣384x288、640x512到高清百萬(wàn)像素1280x1024分辨率紅外探測(cè)器產(chǎn)品。系列產(chǎn)品靈敏度高，可靠性好，并與國(guó)內(nèi)外龍頭紅外熱成像集成商密切合作，立足于讓紅外熱成像技術(shù)惠及大眾。
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