據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，近日，蘇州感測(cè)通信息科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“感測(cè)通”）繼8月宣布自主研發(fā)二維MEMS微鏡模組產(chǎn)品后，再次發(fā)布可量產(chǎn)的三款不同鏡面尺寸的MEMS微鏡模組產(chǎn)品，即5 x 7mm、10 x 10mm二維MEMS微鏡模組和20 x 12mm一維MEMS微鏡模組。

感測(cè)通表示其研發(fā)的MEMS微鏡模組系列產(chǎn)品均已通過(guò)車(chē)規(guī)級(jí)可靠性測(cè)試，達(dá)AEC-Q100標(biāo)準(zhǔn)，具備功耗低、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)，在-40℃~105℃的溫度范圍表現(xiàn)始終如一。感測(cè)通MEMS微鏡模組通過(guò)不同的鏡面尺寸與穩(wěn)定的掃描光學(xué)角可適用于各種場(chǎng)景，可被激光雷達(dá)廠商、工業(yè)機(jī)器人等需求3D掃描的行業(yè)和從事相關(guān)技術(shù)產(chǎn)品研發(fā)的研究機(jī)構(gòu)和大專(zhuān)院校等采用。

感測(cè)通表示此前量產(chǎn)的8 x 8mm MEMS微鏡模組已量產(chǎn)交付于激光雷達(dá)廠商，并已運(yùn)用于智能機(jī)器人等終端產(chǎn)品。

二維MEMS微鏡模組的驅(qū)動(dòng)方式是慢軸準(zhǔn)靜態(tài)和快軸諧振態(tài)的掃描方式，雙軸都具備壓敏電阻反饋，可以實(shí)時(shí)進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，再輔以閉環(huán)控制算法達(dá)到高精度穩(wěn)定二維光柵式掃描。

一維MEMS微鏡模組工作在諧振態(tài)下，扭轉(zhuǎn)軸具備壓敏電阻反饋，可以實(shí)時(shí)進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，再輔以閉環(huán)控制算法達(dá)到高精度穩(wěn)定掃描。

感測(cè)通專(zhuān)注于研發(fā)和生產(chǎn)車(chē)規(guī)級(jí)MEMS微鏡，擁有獨(dú)立的芯片自主設(shè)計(jì)能力，產(chǎn)業(yè)鏈完整，MEMS微鏡加工工藝和封裝工藝可控，模組成本將隨著產(chǎn)量的增長(zhǎng)穩(wěn)步降低，為車(chē)載MEMS激光雷達(dá)規(guī)模化量產(chǎn)和應(yīng)用提供保障。

審核編輯：劉清