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中國(guó)石化與晶瑞電材合作推動(dòng)集成電路用異丙醇國(guó)產(chǎn)化

微云疏影 ? 來(lái)源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-12-28 14:07 ? 次閱讀
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12月27日,中國(guó)石化與晶瑞電材合作的產(chǎn)能達(dá)1萬(wàn)噸的集成電路用G5級(jí)異丙醇項(xiàng)目正式啟動(dòng)。此舉將助推我國(guó)集成電路關(guān)鍵技術(shù)如超凈高純異丙醇制備、金屬雜質(zhì)控制和水分控制等方面的突破。

異丙醇作為濕電子化學(xué)品的主要有機(jī)溶劑,被廣泛用于集成電路制程中的清洗和干燥步驟,是高端芯片制造的關(guān)鍵原料。值得注意的是,由于我國(guó)超凈高純異丙醇仍需大量進(jìn)口,這成為產(chǎn)業(yè)鏈中的一環(huán)短板。

據(jù)了解,該集成電路用G5級(jí)異丙醇項(xiàng)目計(jì)劃建立嚴(yán)格的產(chǎn)品評(píng)估和生產(chǎn)驗(yàn)證系統(tǒng),以確保達(dá)到14納米及以上集成電路生產(chǎn)線(xiàn)的產(chǎn)業(yè)化需求,從而實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的技術(shù)和產(chǎn)品。

湖北省潛江市市委書(shū)記盛文軍表示,兩大巨頭的攜手將推動(dòng)工藝擴(kuò)大的技術(shù)突破,并進(jìn)一步完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。自2019年來(lái),潛江市政府與晶瑞電材聯(lián)手設(shè)立了長(zhǎng)江微電子材料產(chǎn)業(yè)基金,推動(dòng)園區(qū)由零起步、逐漸壯大,與武漢的京東方、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華星光電、天馬微電子等大企業(yè)形成上下產(chǎn)業(yè)鏈配套。

迄今為止,晶瑞電材已成功研發(fā)出半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品中的高純硫酸、雙氧水、氨水等產(chǎn)品,其中金屬雜質(zhì)含量低于10ppt,達(dá)到G5等級(jí),已可滿(mǎn)足目前主流的先進(jìn)集成電路技術(shù)節(jié)點(diǎn)需求,有實(shí)力與國(guó)際前列企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)。同時(shí),其在光刻膠產(chǎn)品上也有所突破,可提供紫外寬譜和部分g線(xiàn)、i線(xiàn)、KrF光刻膠等產(chǎn)品。

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