來源：深圳市智能傳感行業(yè)協(xié)會

3月6日上午，光明區(qū)工業(yè)和信息化局、深圳市智能傳感行業(yè)協(xié)會共同組織的MEMS中試線企業(yè)需求研討會在光明公用服務(wù)平臺舉行。速騰聚創(chuàng)、漢威科技、美思先端、海譜納米、南科大、格物感知、國微感知、戴維萊、比特原子、天陸海、智芯微納、萬感科技等十多家MEMS相關(guān)企業(yè)和機構(gòu)負責(zé)人參會。

MEMS（微機電系統(tǒng)）是將微電子技術(shù)與機械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，通過半導(dǎo)體制造等微納加工手段，形成特征尺度為微納米量級的具有機械結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)裝置。

MEMS工藝與傳統(tǒng)的IC工藝有許多相似之處，MEMS借鑒了IC工藝，如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學(xué)機械拋光工藝等，對于毫米甚至納米級別的加工技術(shù)，傳統(tǒng)的IC工藝是無法實現(xiàn)的，必須得依靠微加工，進行精細的加工，能達到想要的結(jié)構(gòu)和功能。

相比一般的集成電路芯片（IC），MEMS制造工藝不追求先進制程，而更注重功能特色化，即利用微納結(jié)構(gòu)或/和敏感材料實現(xiàn)多種傳感和執(zhí)行功能，工藝節(jié)點通常從500nm到110nm，襯底材料也不局限硅，還包括玻璃、聚合物、金屬等。

會上，與會代表聽取了光明區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況，并就如何通過MEMS產(chǎn)線建設(shè)推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展進行探討。企業(yè)表示，因為MEMS傳感器具有一種產(chǎn)品一種加工工藝的特點，因此對中試線也有著不同的需求，如運營團隊專業(yè)性，設(shè)備工藝的兼容性，服務(wù)的時效性與配合度，如何滿足更多種類的工藝特點，對知識產(chǎn)權(quán)的保護等等。

企業(yè)表示，部分工藝可通過6寸線或?qū)嶒灳€來完成，然后再上8寸線，這樣在良品率、開發(fā)進度等方面效率將更高，也能夠節(jié)省部分成本。在模式方面也可以考慮讓部分有能力的企業(yè)參與運營，或者適當(dāng)開放部分空間給企業(yè)放置自己的設(shè)備來完成前道工藝。

目前MEMS傳感器研發(fā)中試平臺由于建設(shè)投入大、專業(yè)性高已成為共性需求，企業(yè)自身的技術(shù)儲備、專業(yè)能力各不相同。與會企業(yè)表示希望能夠做一些定期的培訓(xùn)，共同做標準如標準器件、標準工藝，并將自己的know-how放到PDK里，不斷地充盈PDK，大家一起做開發(fā)時就會提高效率。

審核編輯 黃宇