經(jīng)過 FixInst 材料研發(fā)團隊的不懈努力，項目《基于晶振微天平原理的超低濕度測量技術(shù)及應(yīng)用》研發(fā)落地成功！

在《2022年度民營科技發(fā)展貢獻獎》評選中，成功榮獲了由中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部、國家科學(xué)技術(shù)獎勵工作辦公室批準(zhǔn)設(shè)立、中國民營科技促進會頒發(fā)的“科技創(chuàng)新獎優(yōu)秀獎”！

項目介紹

FIXINST-Q QCM雙QCM濕度敏感層的多孔結(jié)構(gòu)

應(yīng)用方向：

氣體純度品質(zhì)其中一個核心參數(shù)的檢測。例如電子特氣 (>5N) 幾乎貫穿整個半導(dǎo)體制程工藝包括沉積、光刻、刻蝕、擴散、退火等關(guān)鍵工序。其雜質(zhì)含量直接影響晶圓廠的技術(shù)指標(biāo)和良率

項目優(yōu)勢：

超低露點（-120 ℃td）濕敏材料的成功研發(fā)，可檢測超高純度 (>6N) 電子特氣的雜質(zhì)含量；雙QCM傳感器的專利方案，可實時在線進行污染補償，大大改善了QCM怕污染的弱點

目前產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用產(chǎn)品：

F138x 系列 QCM露點及壓力多參數(shù)變送器F141x 系列 雙QCM標(biāo)準(zhǔn)型露點變送器

審核編輯：劉清