在科學(xué)研究和精密制造領(lǐng)域，對材料表面特性的準(zhǔn)確測量至關(guān)重要。共聚焦顯微鏡作為一種先進的顯微成像技術(shù)，提供了一種非接觸、高分辨率的表面分析手段。深圳市中圖儀器股份有限公司推出的VT6000系列共聚焦顯微鏡，以其卓越的性能和多功能性，為微納米級測量提供了全面的解決方案。

產(chǎn)品概述

VT6000系列共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術(shù)原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，對器件表面進行非接觸式掃描，建立精確的3D圖像。該系列產(chǎn)品能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、3C電子產(chǎn)品、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等多個領(lǐng)域，為科研和工業(yè)應(yīng)用提供了強有力的支持。

產(chǎn)品功能

1.微觀形貌測量：設(shè)備能夠測量物體表面的輪廓尺寸和粗糙度。

2.自動拼接功能：快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量，提高測量效率。

3.一體化測量分析軟件：軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供報表導(dǎo)出功能，支持批量測量。

4.數(shù)據(jù)處理功能：包括位置調(diào)整、糾正、濾波和提取等模塊。

5.五大分析功能：包括粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析和功能分析。

6.輔助分析工具：一鍵分析和多文件分析功能，實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析。

應(yīng)用領(lǐng)域

VT6000系列共聚焦顯微鏡可用于測量和分析各種產(chǎn)品、部件和材料的表面形貌特征，如面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度等。

性能特色

1.高精度與高重復(fù)性：基于轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)和高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證了測量精度和重復(fù)性。

2.隔震設(shè)計：有效消減底面振動噪聲，確保在嘈雜環(huán)境中的穩(wěn)定性和可靠性。

3.一體化操作軟件：提供測量與分析同界面操作，實現(xiàn)快速批量測量，具備自定義分析模板功能。

4.精密操縱手柄：集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整，快速完成測量前工作。

5.雙重防撞保護：軟件和機械電子傳感器雙重保護，降低操作風(fēng)險。

技術(shù)指標(biāo)

-行程范圍：根據(jù)型號不同，X和Y行程范圍從100mm到300mm，Z行程為100mm。

-顯微物鏡：提供10×;20×;50×;100×不同倍數(shù)的物鏡，視場范圍從120×120μm到1.2×1.2 mm。

-高度測量：重復(fù)性達到12nm，精度為±(0.2+L/100)μm。

- XY位移平臺：負(fù)載能力達10kg，控制方式為電動。

-工作環(huán)境：適應(yīng)多種環(huán)境條件，包括電源、溫度、濕度和振動等。

產(chǎn)品配置

VT6000系列共聚焦顯微鏡的標(biāo)準(zhǔn)配置包括主機、物鏡、自動位移臺、電動物鏡轉(zhuǎn)盤、計算機、操縱手柄、軟件等。此外，還提供多種可選配置，以滿足不同用戶的需求。

總結(jié)而言，VT6000共聚焦顯微鏡以其高精度、高重復(fù)性、一體化操作和強大的分析功能，在微納米級測量領(lǐng)域提供了一個可靠的選擇。無論是在科研探索還是在精密制造過程中，它都能為用戶提供深入洞察微觀世界的窗口。