降本增效取得新進展，拉普拉斯申請晶圓圖形化工藝專利
來源：金融界
近日，據天眼查知識產權信息顯示，拉普拉斯新能源科技股份有限公司（以下簡稱“拉普拉斯”）申請一項名為“晶圓圖形化工藝”的專利，公開號CN202410574469.X。
專利摘要顯示，本申請?zhí)岢鲆环N晶圓圖形化工藝，包括：將中子掩膜板置于晶圓的表面；產生中子流射向中子掩膜板；關閉中子流，移除中子掩膜板；去除第一部分以及與第一部分對應的晶圓；去除第二部分。本申請的晶圓圖形化工藝，利用中子流穿過中子掩膜板的間隙對晶圓表面的含硼涂層進行選擇性轟擊，使被轟擊的含硼涂層（第一部分）發(fā)生質變，從而能使第一部分以及與第一部分對應的部分晶圓被去除，進而完成圖形化。本申請的晶圓圖形化工藝無需極紫外光，也就沒有EUV光刻工藝中由于光線反射過程造成的能量損耗，因而能量利用率更高。本申請的晶圓圖形化工藝無需昂貴、限制較多的EUV光源，無需超高精度加工的光路系統(tǒng)，因此有利于節(jié)約成本，且適用范圍更廣。
審核編輯 黃宇
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規(guī)問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
晶圓
+關注
關注
53文章
5452瀏覽量
132813 -
拉普拉斯
+關注
關注
0文章
35瀏覽量
9967
發(fā)布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
倍加福EPV低泄漏減壓閥助力企業(yè)降本增效
一家化工企業(yè)為落實降本增效與可持續(xù)發(fā)展舉措，對其機械設備的運行成本進行評估，重點關注空氣壓縮機及其配套系統(tǒng)。在危險區(qū)域，正壓通風防爆箱需要持續(xù)通入氣流以維持正壓防止危險氣體侵入。
智慧能源管理的技術手段如何實現降本增效？
配置，成為企業(yè)與園區(qū)降低能源成本、提升能源利用效率的核心路徑。智慧能源管理的降本增效，并非單一技術的作用，而是物聯網、大數據、AI算法、數字孿生等多種技術協同發(fā)力的結果，通過對能源“生產-傳輸-消費
千方集團持續(xù)推動公路貨運實現降本增效
公路貨運作為我國物流體系的支柱，是推動全社會物流降本增效的關鍵領域。千方集團通過整合“車、路、貨、能、運”等關鍵要素資源，構建了完整的產業(yè)生態(tài)，并通過智能化升級與全局優(yōu)化，持續(xù)推動公路貨運實現降本增效。
定義光刻精度標準——華林科納顯影濕法設備：納米級圖形化解決方案
提供可靠的圖形化保障。以下深度解析其工藝優(yōu)勢與技術創(chuàng)新。 一、設備核心工藝流程 華林科納四步閉環(huán)工藝，實現亞微米級圖形保真 （1）預處理（P
停車場照明煥新記：晶映節(jié)能改造的降本增效實踐?
晶映節(jié)能停車場照明改造以技術創(chuàng)新破傳統(tǒng)困境，通過智能感應與數字化管理，實現電費大降、維護成本銳減，同步提升安全與用戶體驗，彰顯降本增效深層價值。
上海光機所在激光驅動離子加速方面取得新進展
圖1 實驗原理示意圖 近期，中國科學院上海光學精密機械研究所超強激光科學與技術全國重點實驗室賓建輝研究員團隊在激光驅動離子加速方面取得新進展。相關研究成果分別以“Enhanced proton
賽普拉斯FRAM寬溫域生命守護?
賽普拉斯2 Mbit FRAM FM25V20A-DG以40 MHz SPI總線、1012次擦寫壽命和100 krad(Si)抗輻射能力，取代呼吸機中EEPROM與SRAM加電池的傳統(tǒng)方案，為智能生命支持系統(tǒng)提供原子級可靠的數據存儲基石。
晶圓蝕刻擴散工藝流程
晶圓蝕刻與擴散是半導體制造中兩個關鍵工藝步驟，分別用于圖形化蝕刻和雜質摻雜。以下是兩者的工藝流程、原理及技術要點的詳細介紹：一、
東風汽車轉型突破取得新進展
上半年，東風汽車堅定高質量發(fā)展步伐，整體銷量逐月回升，經營質量持續(xù)改善，自主品牌和新能源滲透率和收益性進一步提升，半年累計終端銷售汽車111.6萬輛，轉型突破取得新進展。
針對晶圓上芯片工藝的光刻膠剝離方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在晶圓上芯片制造工藝中，光刻膠剝離是承上啟下的關鍵環(huán)節(jié)，其效果直接影響芯片性能與良率。同時，光刻圖形的精確測量是保障工藝精度的重要手段
IBM探索AI驅動的降本增效新路徑
AI 驅動已成為企業(yè)降本增效的戰(zhàn)略級引擎，其價值實現不在于技術本身，而在于與業(yè)務場景的深度融合。IBM 咨詢提出的"戰(zhàn)略規(guī)劃+運營管理"雙軌并行模式，突破傳統(tǒng)單點優(yōu)化的局限，構建
降本增效利器！揭秘流程行業(yè)MES解決方案的5大核心應用場景
在流程行業(yè)的數字化轉型中，MES解決方案是實現降本增效的關鍵技術。以下是流程行業(yè)MES解決方案的5大核心應用場景：精準工藝參數控制：流程生產中，溫度、壓力、流量等工藝參數直接決定產品質量和生產效率
福田歐曼銀河5助力物流運輸行業(yè)降本增效
在物流運輸行業(yè)競爭日趨白熱化的當下，每一分成本削減與效率提升都直接關乎用戶的生存空間，而運輸效率與運營效益已成為檢驗重卡性能的核心指標。面對行業(yè)降本增效的迫切需求，歐曼銀河5精準錨定用戶痛點，從動
PLC遠程維護上下載，降本增效減少出差的利器
PLC（可編程邏輯控制器）遠程維護上下載技術已成為現代工業(yè)領域降本增效、減少出差的核心工具，尤其在工業(yè)4.0與物聯網技術推動下，價值愈發(fā)凸顯。對此，數之能提供PLC遠程編程調試和遠程上下載程序等
評論