自奧松電子成功推出AGP3000系列皮拉尼真空計與AGP10系列壓阻真空規(guī)以來，這兩款高品質(zhì)且高性價比的產(chǎn)品在半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)迅速嶄露頭角，憑借其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用場景，成功滿足了真空測量領(lǐng)域的多樣化需求，成為了國產(chǎn)替代的理想選擇，贏得了客戶們的廣泛贊譽。

如今，奧松電子再次憑借其在真空測量技術(shù)領(lǐng)域的深厚積累，推出了AGP21系列電容薄膜真空規(guī)，這款產(chǎn)品不僅繼承了前兩款的優(yōu)點，進一步提升了測量精度和性能，同時優(yōu)化了用戶體驗，使其更加便捷易用。

1產(chǎn)品介紹

AGP21 系列是高精度電容式薄膜真空規(guī)，具有精度高、響應(yīng)時間快等特點，滿足當(dāng)今關(guān)鍵工藝控制的應(yīng)用需求，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。產(chǎn)品配備了標準的 KF16 壓力接口，可根據(jù)需要選配不同的轉(zhuǎn)接件，確保與各種設(shè)備和系統(tǒng)的無縫對接。

2產(chǎn)品特點

? 高精度真空測量：±0.3%讀數(shù)

?性能長期穩(wěn)定可靠

?卓越的抗腐蝕性能：觸氣處選用INCONEL高溫耐蝕合金，其具有抗腐蝕、抗蠕變、高穩(wěn)定性等特點。

?標準Modbus RTU通信

?TFT-LCD彩屏顯示

?支持 Pa、Torr、mbar 三個常用單位的切換

?配備了標準的 KF16 壓力接口：其材質(zhì)為316L不銹鋼，表面采用電拋光處理工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)高真空密封要求，具有安裝便捷、拆卸方便、接頭不易變形等特點。

?提供靈活多樣的連接方案：還可以選配KF16轉(zhuǎn)其它接頭的轉(zhuǎn)接件，確保能夠輕松適應(yīng)不同設(shè)備、不同系統(tǒng)的連接需求。

3產(chǎn)品參數(shù)

4應(yīng)用場景

AGP21系列應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、石化、真空滅菌、真空包裝、真空干燥等行業(yè)，尤其適用于對低真空壓力測量要求至關(guān)重要的工藝過程，比如PECVD/ALD鍍膜工藝、等離子體刻蝕等工藝。