eXcelon ? 和eXcelon ? 3 技術(shù)是一種傳感器工藝，可從根本上提高背照式CCD 和EMCCD 探測器在寬光譜范圍內(nèi)的靈敏度。這兩種技術(shù)都顯著減少了標(biāo)準(zhǔn)具效應(yīng)(由設(shè)備背面薄化硅中的相長和相消性推理引起的條紋出現(xiàn)問題)，同時(shí)在 750 – 1100 nm 范圍 (NIR) 范圍內(nèi)成像。

主要特點(diǎn)

增強(qiáng)靈敏度

eXcelon 技術(shù)比標(biāo)準(zhǔn)薄型背照式 CCD 在更寬的波長范圍內(nèi)提高了靈敏度。通過提高 500 nm 以下和 625 nm 以上的靈敏度，eXcelon 能夠獲得 15-20% 的最大量子效率提升。

減少標(biāo)準(zhǔn)具和暗電流

eXcelon 技術(shù)減少了 NIR 波長范圍內(nèi)薄型背照式 CCD 傳感器上存在的標(biāo)準(zhǔn)具。

此外，采用 eXcelon 技術(shù)的薄型背照式 CCD 傳感器能夠提供比深耗盡型背照式傳感器更低水平的暗電流，同時(shí)在較低波長下保持高量子效率。

eXcelon3

eXcelon3 為 EMCCD 探測器開發(fā)。傳統(tǒng)的背照式 EMCCD 具有單光子靈敏度，但它們在紫外和近紅外區(qū)域缺乏高 QE，并且在近紅外區(qū)域存在標(biāo)準(zhǔn)具效應(yīng)。

eXcelon3 克服了這兩個(gè)限制，將 UV 區(qū)域的 QE 提高了 3 倍，將 NIR 區(qū)域的 QE 提高了 1.3 倍。

它還可以將標(biāo)準(zhǔn)具降低高達(dá) 70%，峰峰值條紋幅度低于 10%。

審核編輯 黃宇