當(dāng)“精度焦慮”成為制造業(yè)的隱形門檻：

在半導(dǎo)體光刻中，1nm偏差可能導(dǎo)致整片晶圓報廢；

在精密機床加工中，熱變形讓傳統(tǒng)測量工具“失靈”……

“高精度、高穩(wěn)定、抗干擾”——工業(yè)超精密制造的三大痛點，如何破局？

PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測量原理，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，同時具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點，在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

核心優(yōu)勢

1、高精度

分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

環(huán)境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。

2、靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現(xiàn)多自由度測量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復(fù)雜場景。

3、高穩(wěn)定性與便捷性

激光光源與探頭分離設(shè)計，3米鎧裝光纖連接，避免設(shè)備散熱干擾，安裝靈活。

體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險。

4、廣泛適用性

最大量程4米（可拓展），支持動態(tài)速度達2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。

光纖激光尺比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達原子層級（10nm=100個原子直徑?。?PLR3000系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實現(xiàn)納米級位置控制精度。