以直線電機(jī)為代表的直驅(qū)技術(shù)是解決精密生產(chǎn)中高精度、高吞吐量要求的必經(jīng)之路，精密設(shè)備的的驅(qū)動(dòng)控制架構(gòu)構(gòu)建也要同時(shí)滿足系統(tǒng)兼容和特殊結(jié)構(gòu)的復(fù)雜要求。在精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)領(lǐng)域，分布式多軸驅(qū)動(dòng)器成為了解決關(guān)鍵問題的熱門產(chǎn)品。

什么是多軸驅(qū)動(dòng)器

分布式總線型驅(qū)動(dòng)器是當(dāng)今自動(dòng)化系統(tǒng)的總體趨勢，DSP+FPGA是一種常見的驅(qū)動(dòng)器信號(hào)處理架構(gòu)。如果讓一組次架構(gòu)的運(yùn)算核心同時(shí)處理多軸的伺服閉環(huán)運(yùn)算，則構(gòu)成了一套多軸伺服驅(qū)動(dòng)器。充足的運(yùn)算能力可以讓驅(qū)動(dòng)器同時(shí)處理單軸、雙軸或多軸的閉環(huán)算法和高速信號(hào)處理。

為什么需要多軸驅(qū)動(dòng)器?

多軸驅(qū)動(dòng)器共享硬件算力、共享母線驅(qū)動(dòng)電路的做法，減少了PCBA制造成本、母線電路元器件成本，是一種經(jīng)濟(jì)、節(jié)省空間的有效方法。

典型應(yīng)用有哪些?

小型儀器設(shè)備

小型微動(dòng)儀器設(shè)備對運(yùn)動(dòng)精度和體積都具有較高要求，小型多軸驅(qū)動(dòng)器具有靈活的上位控制方案、較少的軸數(shù)、精巧的單體設(shè)計(jì)。

XYZ模組

反饋映射

小型微動(dòng)儀器設(shè)備對運(yùn)動(dòng)精度和體積都具有較高要求，小型多軸驅(qū)動(dòng)器具有靈活的上位控制方案、較少的軸數(shù)、精巧的單體設(shè)計(jì)。

AGD系列

龍門控制

軸間耦合及虛擬軸控制

對比軸間通訊方式的龍門控制，多軸驅(qū)動(dòng)器的龍門控制方案具有高控制帶寬、高同步的特點(diǎn)，可以輕松實(shí)現(xiàn)剛性、柔性龍門軸的行走軸控制和扭擺軸控制。能夠?qū)崿F(xiàn)更高的運(yùn)動(dòng)速度和更高的控制精度，同時(shí)降低了接線復(fù)雜程度和調(diào)試流程。

龍門控制

晶圓量檢測——光學(xué)調(diào)平/調(diào)焦模塊(ZTT模塊)

對于半導(dǎo)體領(lǐng)域常用的晶圓載臺(tái)，需要將多個(gè)Z向電機(jī)耦合成常用的Z、Rx、Ry軸進(jìn)行高度和傾斜姿態(tài)的調(diào)整。多軸驅(qū)動(dòng)器提供了DSP層面的耦合算法，具更備高的控制帶寬和更容易使用的控制接口。

雅科貝思提供八軸驅(qū)動(dòng)一體方案，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度平臺(tái)和Wafer載臺(tái)的整體控制。

雅科貝思 PGS-ZTPR 調(diào)平/調(diào)焦模塊

AGM系列