關鍵詞:Hfo2, 鉿基鐵電,鐵電薄膜，疲勞，電滯回線

一、產(chǎn)品介紹:HFO-100型鉿基鐵電薄膜測試儀是一款高量程款的鐵電性能材料測試裝置，這款設備可以適用于鐵電薄膜、鐵電體材料(既可塊體材料)的電性能測量，可測量鐵電薄膜電滯回線、可測出具有非對稱電滯回線鐵電薄膜值?？梢赃M行電致應變測試，可以蝴蝶曲線功能，設備還可以擴展高溫電阻，高溫介電，電容-電壓曲線，TSC/TSDC等功能。鐵電材料的大規(guī)模應用源自鈣鈦礦結構鈦酸鋇鐵電體的發(fā)現(xiàn)，直到今日鈣鈦礦鐵電體仍然是無機鐵電體中的主流。然而，在微納電子應用中，與 CMOS 工藝更兼容的鉿基鐵電薄膜逐漸成為研究熱點。本儀器是從事壓電材料及壓電元件生產(chǎn)、應用與研究部門的重要設備之一，已經(jīng)在各大高校和科研院所廣泛使用。

氧化饸鐵電材料的崛起

傳統(tǒng)的鈣鈦礦類鐵電材料由于尺寸難以進一步縮小，已經(jīng)難以滿足現(xiàn)代集成電路對高密度與高集成度的需求。而氧化鉿(H0)基鐵電材料憑借其卓越的微縮能力和與現(xiàn)有 CMOs 工藝的兼容性，成為近年來鐵電研究的熱點材料。氧化鉿材料的出現(xiàn)標志著鐵電材料從傳統(tǒng)邁向現(xiàn)代，開啟了存儲器應用的新紀元。

主要功能:

高存儲密度:單個存儲單元由一個晶體管構成，可實現(xiàn)高密度集成;
低功耗:極化翻轉所需能量低于傳統(tǒng)存儲器:
高速性:操作速度小于20 納秒，適合實時性要求高的應用場景;

非破壞性讀取:避免數(shù)據(jù)讀取過程中對存儲狀態(tài)的破壞，提高整體存儲效率；

二、主要技術指標:

1、輸出信號電壓::±100 V可擴展電致應蝴蝶曲線功能1、
2、溫度;室溫-200℃，控溫精度:±1℃
3、控制施加頻率 0.01到 1KHz(陶瓷、單品，薄膜)PC 端軟件控制自定義設置;

4、控制輸出電流0到土50m 連續(xù)可調，PC端軟件控制自定義設置。
5、動態(tài)電滯回線測試頻率范圍0.01Hz-1kHz
7、最小脈寬保持時間為 20us;最小上升沿時間為 10us;
疲勞測試頻率 500kHz(振幅 10 Vpp，負載電容1r);8、
9、測試速度:測量時間《5 秒/樣品"溫度點
10、樣品規(guī)格:塊體材料尺寸:直徑 2-100mm，厚度 0.1-10mm

11、主要功能:動態(tài)電滯回線 DH，靜態(tài)電回線 SH，I-V特性，脈沖 PUND，疲勞Fatigue，電擊穿強度 BD，漏電流 L，電流-偏壓，保持力 ，10.電荷解析度不小于 10 mc:漏電流測量范圍:1pA~20 m，分辨率不低于 0.1pA:

12、控制方式:計算機實時控制、實時顯示、實時數(shù)據(jù)計算、分析與存儲

13、軟件采集:自動采集軟件，分析可以兼容其他相關主流軟件。

14、測試精度:±0.05%
15、內置電壓:±20V
16、可增模塊:
印跡印痕 IM
變溫測試 THI
POM 模塊實現(xiàn)極化測量功能
CVM模塊實現(xiàn)小信號電容測試，獲得C-V曲線

PZM 模塊實現(xiàn)壓電特性測試

DPM 模塊測試介電性能

RTM模塊測試電阻/電阻率性能

CCDM 模塊實現(xiàn)電容充放電測試。

17、探針臺(選配):

美國TF-2000測試數(shù)據(jù)對比圖

美國 TF-2000測試數(shù)據(jù)對比圖