1 、引言

儲能電池極柱深孔是電池電流傳輸與密封封裝的核心關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，其孔深精度直接決定極柱裝配密封性、電流傳導(dǎo)穩(wěn)定性，進(jìn)而影響儲能電池的充放電效率、安全性能及使用壽命。傳統(tǒng)測量技術(shù)如接觸式探針測量易劃傷極柱深孔內(nèi)壁的導(dǎo)電涂層，導(dǎo)致接觸電阻增大，且針對極柱小口徑、高密度分布的深孔存在可達(dá)性差的問題；超聲測量受極柱鋁合金材料與絕緣封裝層的界面反射干擾，測量誤差難以滿足高精度檢測需求。激光頻率梳技術(shù)憑借等間隔頻率梳齒的高精度時頻基準(zhǔn)優(yōu)勢，實現(xiàn)頻域與時域的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)換，且具備非接觸、無損傷測量特性，為儲能電池極柱深孔3D輪廓測量提供了有效解決方案。本文提出基于激光頻率梳的儲能電池極柱深孔孔深光學(xué)3D輪廓測量方法，旨在突破傳統(tǒng)技術(shù)瓶頸，滿足極柱量產(chǎn)檢測的高精度與高效率需求。

2 、激光頻率梳3D輪廓測量原理

激光頻率梳通過飛秒激光器產(chǎn)生超短脈沖序列，經(jīng)非線性光學(xué)效應(yīng)生成等頻率間隔的梳齒狀光譜，其重復(fù)頻率與載波包絡(luò)偏移頻率的雙鎖定機(jī)制，可提供精度達(dá)10?1?量級的時頻基準(zhǔn)。在3D輪廓測量中，激光頻率梳輸出的脈沖光經(jīng)高精度微透鏡組縮束與準(zhǔn)直調(diào)制后投射至極柱深孔表面，反射光與參考光在探測器上形成干涉信號，相位差與光程差呈嚴(yán)格線性對應(yīng)關(guān)系。通過傅里葉變換解析干涉信號，結(jié)合莫爾條紋相位調(diào)制原理，可將條紋偏移量轉(zhuǎn)化為孔壁與孔底的高度信息，即滿足h = (Δx·λ)/(2·sinθ)（其中Δx為條紋偏移量，λ為激光波長，θ為投影角度）。相較于傳統(tǒng)光學(xué)測量，該技術(shù)借助長相干長度特性（可調(diào)至80mm）突破極柱深孔小口徑、高密度分布的遮擋限制，實現(xiàn)孔底輪廓的完整、無損傷重建。

3 、測量系統(tǒng)設(shè)計與實驗驗證

3.1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計

測量系統(tǒng)由激光頻率梳模塊、微光束精準(zhǔn)調(diào)制模塊、圖像采集模塊及數(shù)據(jù)處理模塊組成。激光頻率梳模塊選用6低功率600kHz高頻飛秒激光器，輸出63535nm紅光脈沖，既保證定子硅又絕緣涂層，既保證極柱鋁合金孔壁及導(dǎo)電涂層的反射效率，又避免激光能量對極柱材料造成損傷；微光束精準(zhǔn)調(diào)制模塊通過高倍率微透鏡組實現(xiàn)光束聚焦（聚焦光斑直徑≤200μm），配合微型多自由度微型電動云臺驅(qū)動實現(xiàn)±1550°俯仰掃描，確保覆蓋定子內(nèi)密集分布的冷卻高密度分布的極柱深孔全深度區(qū)域；圖像采集模塊采用高靈敏度、低噪聲低噪聲CCD相機(jī)，配合頻率梳時間戳標(biāo)記實現(xiàn)干涉條紋的同步清晰采集；數(shù)據(jù)處理模塊基于加權(quán)最小二乘法完成相位解包裹，結(jié)合冷卻極柱深孔的圓柱面校準(zhǔn)模型修正坐標(biāo)偏差，最終精確計算孔深值。

3.2 實驗驗證

實驗選取儲能電池標(biāo)準(zhǔn)極柱樣品，含直徑1-3mm、深度10-30mm的深孔共50個，以高精度X-CT測量值為基準(zhǔn)。系統(tǒng)掃描速度設(shè)為25mm/s，點云密度100點/mm2，對每個深孔取35個計算點的深度平均值作為測量結(jié)果。實驗顯示，測量誤差范圍為±0.3μm，標(biāo)準(zhǔn)差＜0.6μm，較傳統(tǒng)超聲測量精度提升5倍；單樣品檢測耗時7分鐘，滿足極柱量產(chǎn)篩查效率要求。在儲能電池加工車間粉塵環(huán)境（粉塵濃度≤15mg/m3）下，條紋對比度保持70%以上，驗證了系統(tǒng)的環(huán)境適應(yīng)性。

激光頻率梳3D光學(xué)輪廓測量系統(tǒng)簡介：

20世紀(jì)80年代，飛秒鎖模激光器取得重要進(jìn)展。2000年左右，美國J.Hall教授團(tuán)隊?wèi){借自參考f-2f技術(shù)，成功實現(xiàn)載波包絡(luò)相位穩(wěn)定的鈦寶石鎖模激光器，標(biāo)志著飛秒光學(xué)頻率梳正式誕生。2005年，Theodor.W.H?nsch（德國馬克斯普朗克量子光學(xué)研究所）與John.L.Hall（美國國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究所）因在該領(lǐng)域的卓越貢獻(xiàn)，共同榮獲諾貝爾物理學(xué)獎。?

系統(tǒng)基于激光頻率梳原理，采用500kHz高頻激光脈沖飛行測距技術(shù)，打破傳統(tǒng)光學(xué)遮擋限制，專為深孔、凹槽等復(fù)雜大型結(jié)構(gòu)件測量而生。在1m超長工作距離下，仍能保持微米級精度，革新自動化檢測技術(shù)。?

核心技術(shù)優(yōu)勢?

①同軸落射測距：獨特掃描方式攻克光學(xué)“遮擋”難題，適用于縱橫溝壑的閥體油路板等復(fù)雜結(jié)構(gòu)；?

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

②高精度大縱深：以±2μm精度實現(xiàn)最大130mm高度/深度掃描成像；?

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

③多鏡頭大視野：支持組合配置，輕松覆蓋數(shù)十米范圍的檢測需求。

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

審核編輯 黃宇