Zynalog ZGAD65/125/250系列雙通道14位ADC用于射頻電源，毫秒級(jí)閉環(huán)控制
在半導(dǎo)體刻蝕、PECVD、離子注入等工藝中，射頻電源的功率穩(wěn)定性直接決定工藝良率。傳統(tǒng)方案采用單通道ADC輪詢采樣前向/反射功率，通道切換引入的微秒級(jí)時(shí)序差，導(dǎo)致功率反射系數(shù)計(jì)算失真，閉環(huán)控制始終"慢半拍"——這正是工藝良率波動(dòng)的隱形殺手。
Zynalog ZGAD系列雙通道14位高速ADC，以真雙核同步采樣架構(gòu)徹底消除時(shí)序偏差，兩通道采樣時(shí)刻偏差<100ps，為射頻電源控制電路提供零時(shí)差功率回采，助力實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)精準(zhǔn)閉環(huán)控制。
圖1. 射頻電源信號(hào)回采電路框圖
如圖1所示，該系列部署于放大器輸出端，雙通道同步捕獲前向與反射信號(hào)，為FPGA提供實(shí)時(shí)決策依據(jù)。65/125/250MSPS三檔采樣率覆蓋全頻段，ENOB>11位與90dBc SFDR確保功率檢測精度。
表1.射頻電源ADC選型核心指標(biāo)vs. Zynalog ADC指標(biāo)
表1對(duì)比顯示，雙通道真同步架構(gòu)完美契合前向/反射功率同步采樣剛需，ZGAD125D14/ZGAD250D14更以LVDS差分輸出增強(qiáng)高速傳輸可靠性。
ZGAD65D14/ZGAD125D14/ZGAD250D14由徴格半導(dǎo)體全正向設(shè)計(jì)并以量產(chǎn)，搜索徴格半導(dǎo)體官網(wǎng) ，直達(dá)產(chǎn)品頁，48小時(shí)樣片發(fā)貨支持射頻電源設(shè)計(jì)加速量產(chǎn)。
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