研究背景
在5G通信、柔性顯示、新能源電池等前沿領域，薄膜材料的性能直接決定了產品的可靠性。其中，體積電阻率和表面電阻是衡量薄膜絕緣性能的核心指標，但超薄厚度的測試卻充滿挑戰(zhàn)：
傳統(tǒng)設備電極覆蓋不足，信號不穩(wěn)定；
微米級厚度易引發(fā)邊緣短路；
不同規(guī)格樣品需頻繁更換夾具，效率低下等。
二、解決方案：薄膜產品測試
（一）測試對象

有一家專注于電子專用材料研發(fā)的高新技術企業(yè)，近期需要對其新型薄膜產品進行關鍵電學性能測試：測試薄膜產品的體積電阻率、表面電阻。
（二）測試要求
檢測項目：體積電阻率、表面電阻
樣品規(guī)格：10μm/14μm/40μm薄膜
（三）解決方案
針對客戶超薄薄膜材料的電學性能檢測需求，需完成體積電阻率（ρv）及表面電阻（Rs）兩項核心指標測試。
1.體積電阻率（ρv）作為表征材料整體絕緣性能的核心參數(shù)，其數(shù)值直接決定了電子器件的漏電流與能耗。當測試超薄樣品時，需要使用大電極均勻加壓，避免局部擊穿。
2.表面電阻（Rs）作為表征材料表面導電特性的核心參數(shù)，其量值直接決定防靜電、電磁屏蔽等性能。在微米級薄膜材料測試中，易引發(fā)因電極接觸不良導致的數(shù)據(jù)波動。
為兼顧測試精度與效率，推薦采用TH2690系列飛安表/靜電計/高阻計+TH26090表面電阻率/體電阻率測試夾具的組合方案，其核心優(yōu)勢如下：

(一)、單機全功能
TH2690系列通過高度集成化設計，實現(xiàn)了"單機全功能測試"，徹底擺脫對上位機的依賴，為微弱信號測量帶來革命性便捷體驗。

(二)、0.01fA電流分辨率
TH2690系列其最小電流分辨率0.01fA(10-17A)，可滿足大部分場景的微弱電流測量需求，大大解決薄膜材料信號漂移問題。

(三)、數(shù)據(jù)分析處理能力
TH2690系列內置±1000V電壓源，支持1mV步進式精密調節(jié)，可實現(xiàn)從1V到1000V寬范圍電壓的精確施加與動態(tài)控制，滿足高阻材料測試的電壓精度要求。
(四)、多電極快速切換

在10μm級超薄薄膜的體積電阻率測試中，傳統(tǒng)小電極存在兩大技術瓶頸：覆蓋失效+短路風險，同惠電子針對性開發(fā)了TH26090表面電阻率/體電阻率測試夾具適用被測件尺寸：直徑 50mm ~ 125mm，厚度：10μm ~ 10mm，確保有效接觸面積，大大降低短路發(fā)生率。

(五)、數(shù)據(jù)分析處理能力
TH2690系列支持將測量數(shù)據(jù)以.CSV 格式保存，同時可轉換為曲線圖、直方圖等圖形化形式。這種設計使用戶既能獲取精確數(shù)值，又能直觀觀察數(shù)據(jù)分布規(guī)律或變化趨勢，為后續(xù)分析提供多維視角。
曲線圖

直方圖
（四）經驗與總結
薄膜材料是柔性電子、新能源等領域的核心基礎，技術突破推動產業(yè)升級。同惠電子依托三十余年精密測試技術積累，以TH2690系列高精度儀器，為超薄、柔性、高阻薄膜提供檢測方案，助力全流程品控。

審核編輯 黃宇