半導(dǎo)體晶圓廠中的AMHS是實現(xiàn)無人化生產(chǎn)的核心物流系統(tǒng)。其中，OHT天車作為關(guān)鍵的搬運設(shè)備，懸掛于潔凈室內(nèi)的空中軌道，承擔(dān)著在工藝設(shè)備、晶圓盒空中緩存區(qū)與存儲庫之間搬運Foup的任務(wù)，貫穿芯片生產(chǎn)的全過程。

Foup作為晶圓的核心承載載體，價值高且對搬運精度和防護(hù)有嚴(yán)格要求。天車在高速運行、多車協(xié)同作業(yè)過程中，需同時實現(xiàn)對前車的安全防撞保護(hù)和對Foup的超限檢測，以確保晶圓搬運的安全性和穩(wěn)定性。倍加福為OHT天車前車防撞與Foup超限檢測提供完整的解決方案。

應(yīng)用挑戰(zhàn)

天車在高速行駛、岔路切換及集群作業(yè)時，常面臨前車距離過近、多車交匯的風(fēng)險，因此要求防撞傳感器響應(yīng)速度快、檢測精度高。

同時，F(xiàn)oup在抓取、起升和搬運過程中，可能出現(xiàn)高度或?qū)挾瘸藁蚱d現(xiàn)象，這會導(dǎo)致工藝延誤甚至晶圓損壞，要求傳感器能穩(wěn)定、實時地識別超限狀態(tài)。

解決方案

倍加福的R200-PRT傳感器采用PRT脈沖測距技術(shù)，基于TOF的測距原理，不受目標(biāo)物顏色、亮度的影響。

PRT R200有兩路獨立輸出，可直接實現(xiàn)天車運行中的減速位和停止位，尺寸小便于集成在OHT中。R200具備高速響應(yīng)與高定位精度，在天車防撞應(yīng)用中表現(xiàn)突出。

R2與R3系列傳感器因其微型設(shè)計，適用于狹小空間安裝，并采用DuraBeam激光技術(shù)，在Foup超限檢測中可實現(xiàn)穩(wěn)定檢測，其快速響應(yīng)能力可實時監(jiān)測Foup是否超出限制。兩種設(shè)計M2或?3,選擇更自由。

01 OHT天車防撞

在OHT天車防撞應(yīng)用中，天車運行速度最高可達(dá)5~6 m/s，傳感器需能快速響應(yīng)，并準(zhǔn)確輸出與前車的距離信息，這就要求傳感器具備高響應(yīng)速度、高定位精度，并適應(yīng)天車的高速移動。

高定位精度：重復(fù)精度 < 3 mm，適用于10 m/s移動速度下的準(zhǔn)確控制，滿足防撞需求

響應(yīng)頻率高達(dá)300 kHz，快速響應(yīng)時間僅3 ms，可適配天車高速運行中的定位與防撞報警，支持減速與停機控制，提升運行安全性

支持IO-Link通信，可實現(xiàn)遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)置、故障診斷和雙向通訊，使系統(tǒng)更具靈活性與智能化

提供開關(guān)量與模擬量輸出型號，支持多種功能模式選擇

02 Foup超限檢測/放掉落

在Foup超限檢測應(yīng)用中，傳感器需具備小體積、高速響應(yīng)和高精度檢測能力。倍加福R2、R3系列傳感器采用微型外觀設(shè)計，其中R2F與R3F型號可貼片安裝，適應(yīng)空間受限的安裝環(huán)境，并具備Teach-In功能的對射型版本可準(zhǔn)確檢測微小目標(biāo)物，響應(yīng)時間快至0.25 ms。

DuraBeam激光技術(shù)，光源更集中，使用壽命更長，能夠準(zhǔn)確識別Foup超限中的細(xì)微變化

0.25 ms高速響應(yīng)時間，可實現(xiàn)Foup狀態(tài)的實時監(jiān)控

對射型檢測距離為500 mm / 1500 mm，可適配不同類型Foup檢測需求

貼片式安裝方式節(jié)省安裝空間，適應(yīng)狹小環(huán)境要求

OHT 天車更多解決方案：

工位Foup/Casstte有無檢測，ML100-55-G穩(wěn)定檢測各種料盒

料盒卡到位法蘭檢測，OBG5000-R100可實現(xiàn)0盲區(qū)檢測

前/后軸原點、極限位檢測，GL5定位精度0.03mm

關(guān)于倍加福

倍加福–未來自動化的驅(qū)動者和創(chuàng)新者

倍加福以德國曼海姆為公司總部，憑借其持續(xù)不斷的對創(chuàng)新技術(shù)的研發(fā)，向全球工廠自動化和過程行業(yè)的客戶提供豐富而多樣的產(chǎn)品，致力于自動化行業(yè)的傳統(tǒng)應(yīng)用和面向未來的應(yīng)用。同時，倍加福不斷推動前瞻性技術(shù)的開發(fā)，為客戶迎接即將來臨的工業(yè) 4.0 的挑戰(zhàn)鋪平了道路。