近日，國際學術(shù)期刊Small 以封面刊載的形式，邀請刊載了中國科學院沈陽自動化研究所機器人學研究室微納米課題組在類生命機器人使能領(lǐng)域的最新成果。該研究利用與超聲加工、檢測協(xié)同設(shè)計的納米操作機器人實現(xiàn)了亞微米尺寸的二硫化鉬場效應(yīng)管的制造，為建立工程化細胞的多維信息同步獲取接口提供了有效途徑，為實現(xiàn)基于活體細胞的生命本征感知器件的成功制造奠定了基礎(chǔ)。

Small封面刊載沈陽自動化所微納米課題組科研成果

該研究將超聲與納米操作機器人結(jié)合，將超聲的優(yōu)異特性引入了納米尺度，利用超聲加工的沖擊特性提升了加工結(jié)構(gòu)邊緣的線性度、減小了加工力，利用超聲相位檢測與加工能量損耗之間的特定關(guān)系實現(xiàn)了任務(wù)空間內(nèi)加工深度的閉環(huán)控制，提出了“相位模式”的加工方法，克服了傳統(tǒng)納米操作機器人加工存在的突出問題，并且結(jié)合剝離工藝（lift-off）實現(xiàn)了亞微米尺寸的二維材料場效應(yīng)管的一體化的制造，為基于活體生物材料—二維材料—半導(dǎo)體材料的類生命感知器件的制造提供了更為有效、便捷和靈活的使能技術(shù)。

近年來，沈陽自動化所微納米課題組基于生命系統(tǒng)與機電系統(tǒng)相融合的類生命機器人研究理念，圍繞類生命使能技術(shù)、類生命感知、類生命驅(qū)動和類生命智能開展相關(guān)研究。本次封面刊發(fā)的研究成果展現(xiàn)了基于先進類生命機器人使能技術(shù)的機器人感知系統(tǒng)由非生命介質(zhì)向生命體介質(zhì)轉(zhuǎn)變的可能性，向著全面建立類生命機器人系統(tǒng)堅實邁進。課題組該領(lǐng)域的前期成果先后發(fā)表在Nature Communications，Small，ACS Applied Materials & Interfaces，Lab on a Chip，Nanoscale，IEEE Trans 匯刊等國際期刊，研究布局逐步系統(tǒng)化、體系化，為未來取得更好的成果奠定了工作基礎(chǔ)。