ADI在線研討會(huì):微電子機(jī)械系統(tǒng)的性能及應(yīng)用分析
MEMS是指大小在毫米量級(jí)以下，構(gòu)成單元尺寸在微米、納米量級(jí)的可控制的可運(yùn)動(dòng)的微型機(jī)電裝置，是集成微機(jī)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理控制等功能于一體的系統(tǒng)。
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