MEMS加速度計的工作原理及設(shè)計方法
演示文稿中介紹了加速度在生活中的現(xiàn)象，并基于生活中的加速度現(xiàn)象引申到MEMS加速度計的工作原理。詳細介紹了胡克定律和牛頓第二定律，以及如果結(jié)合這兩個定律來推導出加速度的測量方法。演示文稿中還給出了芯片級加速度計的運動示意，以及它的一些設(shè)計方法，難點和信號鏈。
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