5月7日，至純科技發(fā)布了公開發(fā)行A股可轉(zhuǎn)換公司債券預(yù)案，擬發(fā)行可轉(zhuǎn)債規(guī)模不超過人民幣 35,600 萬元（含 35,600 萬元），本次發(fā)行募集資金在扣除發(fā)行費用后的凈額用于投資半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目以及晶圓再生基地項目。

半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目

據(jù)披露，半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目的建設(shè)周期為 2 年，實施主體為合肥至匯半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)有限公司（以下簡稱“合肥至匯”），合肥至匯系公司的全資子公司，內(nèi)部投資收益率（稅后）為 20.39%，稅后投資回收期為 5.30 年，具有較高的經(jīng)濟(jì)效益。

半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目的投資總額為 18,000.00 萬元，其中建設(shè)投資為 15,627.64 萬元，鋪底流動資金為 2,372.36 萬元。建設(shè)內(nèi)容主要包括生產(chǎn)車間建設(shè)及設(shè)備 購置等。項目建成后，主要開展批次式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備和單片式半導(dǎo)體濕法 清洗設(shè)備的生產(chǎn)制造。項目達(dá)產(chǎn)后，至純科技將實現(xiàn)年產(chǎn)批次式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備 30 臺，單片式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備 10 臺的生產(chǎn)能力。

晶圓再生基地項目

晶圓再生基地項目的建設(shè)周期為 2 年，實施主體為合肥至微半導(dǎo)體有限公司，內(nèi)部投資收益率（稅后）為 20.57%，稅后投資回收期為 5.31 年，具有較高的經(jīng)濟(jì)效益。

晶圓再生基地項目的投資總額為 32,000.00 萬元，其中建設(shè)投資 27,382.63 萬元，鋪底流 動資金 4,617.37 萬元。建設(shè)內(nèi)容主要包括生產(chǎn)車間建設(shè)及設(shè)備購置。本項目建成后，主要開展再生晶圓的加工服務(wù)。本項目達(dá)產(chǎn)后，公司將實現(xiàn)年產(chǎn) 12 英寸硅再生晶圓 168 萬片的產(chǎn)出能力。

至純科技表示，公司較早的洞察到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的巨大發(fā)展機遇，基于高純工藝系統(tǒng)領(lǐng)域的優(yōu)勢， 于 2015 年開始濕法工藝設(shè)備的研發(fā)，于 2016 年成立院士工作站，并于 2017 年 成立半導(dǎo)體濕法事業(yè)部，致力于打造高端濕法設(shè)備制造開發(fā)平臺。目前，公司已 形成了以 Ultron 作為本土品牌的槽式濕法清洗設(shè)備（B200，B300）和單晶圓濕 法清洗設(shè)備（S300）系列，在國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域建立了一定的市場知名度。

在晶圓再生領(lǐng)域，至純科技已經(jīng)擁有晶圓再生的部分核心技術(shù)，具有行業(yè)主流的雙面拋光及邊緣拋光能力，通過了解、 分析客戶的實際需求，進(jìn)一步發(fā)展完善再生晶圓的技術(shù)與處理流程，迎合未來國內(nèi)先進(jìn)晶圓廠的晶圓再生需求變化趨勢。

此外，公司本次公開發(fā)行可轉(zhuǎn)債募集資金的使用將有利于吸引優(yōu)秀人才的加盟，有利于推進(jìn)先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，通過業(yè)務(wù)規(guī)模擴張與技術(shù)升級之間的良性協(xié)同，增強公司在濕法設(shè)備制造領(lǐng)域的市場競爭力，提升國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造的國產(chǎn)化率。