近日，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司與日本愛發(fā)科（ULVAC）共建的PZT壓電薄膜MEMS器件聯(lián)合實驗室落戶蘇州納米城，雙方將共同推動PZT壓電薄膜材料在MEMS器件制造領(lǐng)域的應(yīng)用。日本愛發(fā)科株式會社代表取締役執(zhí)行役員社長巖下節(jié)生，蘇州工業(yè)園區(qū)黨工委委員、管委會副主任孫燕燕等出席簽約儀式。

PZT壓電薄膜材料可減小MEMS芯片面積、簡化生產(chǎn)工藝、提高制造良率、降低生產(chǎn)成本，日本愛發(fā)科是該材料生產(chǎn)設(shè)備的全球引領(lǐng)者。建設(shè)“PZT壓電薄膜MEMS器件聯(lián)合實驗室”，將有利于壯大蘇州工業(yè)園區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)實力，也有利于加快中國MEMS企業(yè)創(chuàng)新步伐。

巖下節(jié)生在簽約儀式上表示，愛發(fā)科與蘇州工業(yè)園區(qū)之間有著深厚的互信和友誼，也得到了蘇州工業(yè)園區(qū)的大力支持，十年來已有三個重大項目落戶于此。愛發(fā)科非常感謝蘇州工業(yè)園區(qū)一直以來的幫助和支持。我們對此次共建聯(lián)合實驗室充滿信心。

納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)是蘇州工業(yè)園區(qū)的區(qū)域戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，截至2018年底，蘇州工業(yè)園區(qū)集聚590多家納米企業(yè)，產(chǎn)值突破660億元，也被譽為全球納米創(chuàng)新資源最集聚的八大區(qū)域之一。MEMS產(chǎn)業(yè)是“中國芯”有望取得突破的關(guān)鍵領(lǐng)域之一，是納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的重要細分領(lǐng)域，也是蘇州工業(yè)園區(qū)推進產(chǎn)業(yè)高端化、加快發(fā)展動能轉(zhuǎn)換的重要領(lǐng)域。

孫燕燕致辭時表示，開放創(chuàng)造機遇，合作帶來共贏，蘇州工業(yè)園區(qū)近年來，堅持把科技創(chuàng)新作為區(qū)域發(fā)展的核心戰(zhàn)略，堅持在全球范圍配置創(chuàng)新資源，構(gòu)建開放型創(chuàng)新體系，優(yōu)化完善創(chuàng)新生態(tài)圈，積極構(gòu)筑納米產(chǎn)業(yè)先發(fā)集群優(yōu)勢。日本愛發(fā)科、巖下節(jié)生社長都是蘇州工業(yè)園區(qū)的老朋友，希望雙方以此次簽約為契機，不斷深化開放創(chuàng)新的水平，使PZT壓電薄膜MEMS器件聯(lián)合實驗室成為中國MEMS產(chǎn)業(yè)的新地標，進一步促進中日兩國科技交流與合作。同時，我們將積極構(gòu)建國際一流營商環(huán)境，以更有溫度的服務(wù)、更大力度的支持，助力MEMS產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越發(fā)展。

據(jù)了解，MEMS中試平臺是中國首條市場化、全開放、工業(yè)級的6英寸微納機電制造中試線，是國內(nèi)工藝能力最全、流片產(chǎn)品最多的公共服務(wù)平臺。在該平臺的帶動下，蘇州工業(yè)園區(qū)已成為中國MEMS產(chǎn)業(yè)第一園，集聚了一批MEMS創(chuàng)新企業(yè)，五家企業(yè)位列全國MEMS十強。