Flexfilm文章

• 橢偏儀在集成電路檢測中的應用：以標準樣品校準法校準橢偏參數(shù)2025-09-03 18:04

  

  橢偏術因其高靈敏度、非接觸與在線測量能力，已成為薄膜與IC工藝檢測的重要手段。但儀器的準確性依賴系統(tǒng)中偏振元件與幾何參數(shù)的精確校準，且在工業(yè)環(huán)境中這些參數(shù)會隨時間與環(huán)境漂移變化——因此需要快速、簡單且準確的校準方法以維持儀器性能。傳統(tǒng)校準方法（如雙區(qū)域法）在實施上復雜且不易在生產線上周期性重復。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精

  檢測 薄膜材料 集成電路 1207瀏覽量

• 汽車玻璃隔熱膜技術方案的對比：汽車玻璃透光率檢測分析2025-09-01 18:01

  

  汽車玻璃在采光、擋風和遮雨方面具有重要作用，但普通玻璃對紫外線和紅外線阻隔性差，導致車內溫度升高、空調能耗增加、車內設施老化速度加快。為解決這一問題，汽車玻璃隔熱膜應運而生，要求在可見光透射率不低于75%的前提下，具備高紅外反射率和紫外隔斷能力。目前研究主要集中在隔熱貼膜、ITO透明導電膜、可熱彎銀基低輻射膜、透明隔熱涂料及溶膠-凝膠鍍膜等方向，其中Flex

  儀器 檢測 汽車 1914瀏覽量

• 薄膜測厚選臺階儀還是橢偏儀？針對不同厚度范圍提供技術選型指南2025-08-29 18:01

  

  在現(xiàn)代工業(yè)與科研中，薄膜厚度是決定材料腐蝕性能、半導體器件特性以及光學與電學性質的關鍵參數(shù)。精準測量此參數(shù)對于工藝優(yōu)化、功能材料理解及反向工程都至關重要。其中，臺階儀通過直接測量薄膜與暴露基底之間的物理高度差，為實現(xiàn)厚膜層的簡單、直接測量提供了經典方案。而光譜橢偏儀則利用光與薄膜相互作用的偏振態(tài)變化，兼具非破壞性、快速測量與提取材料光學常數(shù)的優(yōu)勢，成為表征透

  半導體器件 測厚 薄膜 2947瀏覽量

• 橢偏儀的原理和應用 | 薄膜材料或塊體材料光學參數(shù)和厚度的測量2025-08-27 18:04

  

  橢偏儀是一種基于橢圓偏振分析的光學測量儀器，通過探測偏振光與樣品相互作用后偏振態(tài)的變化，獲取材料的光學常數(shù)和結構信息。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域,在材料光學特性分析領域具有重要地位。1橢偏儀的基本原理flexfilm當偏振光波穿過介質時，會與介質發(fā)生相互作用，這種作用會改

  數(shù)據(jù)處理 材料 測量 薄膜材料 1989瀏覽量

• 臺階儀測量膜厚的方法改進：通過提高膜厚測量準確性優(yōu)化鍍膜工藝2025-08-25 18:05

  

  隨著透明與非透明基板鍍膜工藝的發(fā)展，對膜層厚度的控制要求日益嚴格。臺階儀作為一種常用的膜厚測量設備，在實際使用中需通過刻蝕方式制備臺階結構，通過測量臺階高度進行膜層厚度測量。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準測量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以精確多種薄膜樣品的薄膜厚度。然而，刻蝕過程中若邊界處理不佳，會導致臺階不平行、測量誤差大、重現(xiàn)性差等

  儀器 測量 測量設備 1581瀏覽量

• 橢偏儀在OLED中的應用丨多層薄膜納米結構的各膜層厚度高精度提取2025-08-22 18:09

  

  在OLED顯示器中的多層超薄膜疊加結構的橢偏測量應用中，需要同時提取多層超薄膜堆棧各層薄膜厚度值，而膜層與膜層間的厚度也會有強耦合性會導致測量的不確定性增加。某些膜層對總體測量數(shù)據(jù)的靈敏度也極低，導致部分膜層厚度測量結果偏離真實值。對此本文構建了一套針對超薄膜橢偏測量靈敏度和唯一性評估模型，應用于超薄膜待測參數(shù)高精度的提取，并結合在國內領先測量供應商費曼儀器

  OLED 顯示器 測量 1182瀏覽量

• 臺階儀1分鐘測半導體激光芯片Smile值，實測16組LDA芯片誤差<1μm2025-08-20 18:02

  

  半導體激光陣列LDA芯片作為大功率半導體激光器的核心部件，其封裝質量直接決定了半導體激光器的可靠性。本文采用Flexfilm探針式臺階儀結合探針掃描法測量Smile效應，能夠對LDA芯片批量化封裝的生產過程中芯片Smile效應進行實時的在線監(jiān)測，從而保障封裝工藝的穩(wěn)定性，提高封裝良品率。1Smile效應抑制flexfilm半導體激光陣列器件工作時，各個發(fā)光單

  LDA 半導體 半導體激光芯片 1896瀏覽量

• 汽車玻璃透光率≥70%的隔熱膜制備：優(yōu)化工藝參數(shù)提升透光與隔熱性能2025-08-18 18:02

  

  汽車玻璃作為汽車的重要組成部分直接影響駕乘舒適度。汽車玻璃隔熱膜需滿足前擋風玻璃可見光透過率≥70%（國標要求），同時具備高紅外阻隔率。本文基于磁控濺射技術，在玻璃基底上制備TiO?/Ag/TiO?三層結構隔熱膜，通過優(yōu)化工藝參數(shù)提升光學與隔熱性能，滿足節(jié)能環(huán)保需求。費曼儀器在汽車工業(yè)領域從研發(fā)、生產到質檢的全流程中均有嚴格監(jiān)控。Flexfilm汽車玻璃透過

  檢測 汽車 玻璃 1357瀏覽量

• 橢偏儀薄膜測量原理和方法：光學模型建立和仿真2025-08-15 18:01

  

  橢偏技術是一種非接觸式、高精度、多參數(shù)等光學測量技術，是薄膜檢測的最好手段。本文以橢圓偏振基本原理為基礎，重點介紹了光學模型建立和仿真，為橢偏儀薄膜測量及誤差修正提供一定的理論基礎。費曼儀器作為國內領先的薄膜材料檢測解決方案提供商，致力于為全球工業(yè)智造提供精準測量解決方案。其中Flexfilm全光譜橢偏儀可以精確量化薄膜的折射率、消光系數(shù)及厚度參數(shù)。1橢圓偏

  光學模組 測量 薄膜 4625瀏覽量

• 臺階儀表征MEMS壓力傳感器硅槽刻蝕：TMAH80℃下薄膜良率達到92.67%2025-08-13 18:05

  

  當前MEMS壓力傳感器在汽車、醫(yī)療等領域的應用廣泛，其中應力敏感薄膜的厚度是影響傳感器性能的關鍵一，因此刻蝕深度合格且均勻性良好的薄膜至關重要。費曼儀器作為薄膜測量技術革新者，致力于為全球工業(yè)智造提供精準測量解決方案。Flexfilm探針式臺階儀進行刻蝕深度測試，進行表面粗糙度、表面形貌及均勻性的調控，直接支撐刻蝕深度與均勻性的精準評估。本研究聚焦四甲基氫氧

  mems 傳感器 壓力傳感器 1034瀏覽量