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• 臺階儀在鋰電池的應(yīng)用 | 量化表征正負極與電解質(zhì)膜的厚度變化2026-04-29 18:03

  

  微電子機械系統(tǒng)（MEMS）與微小型電子器件的快速發(fā)展，推動化學(xué)電源向微型化方向急劇迭代。與傳統(tǒng)液態(tài)鋰離子電池相比，全固態(tài)薄膜鋰電池將電解質(zhì)與電極均以微米級薄膜形式沉積于襯底之上，既解決了漏液與安全性問題，又在體積上大幅縮減，已成為微能源領(lǐng)域最受關(guān)注的技術(shù)路線之一。Flexfilm費曼儀器探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定

  mems 儀器 電解質(zhì) 103瀏覽量

• ALD-Al?O?薄膜的制備：基于橢偏儀的前驅(qū)體脈沖時間優(yōu)化與光學(xué)表征2026-04-27 18:04

  

  高功率激光系統(tǒng)（如慣性約束核聚變、激光裝備等）中的復(fù)雜曲面光學(xué)元件對薄膜的均勻性和精度要求極高。傳統(tǒng)物理氣相沉積（PVD）難以在高陡度曲面上實現(xiàn)均勻覆蓋，而原子層沉積（ALD）憑借自限制表面反應(yīng)特性，可實現(xiàn)原子級厚度控制和優(yōu)異的三維共形覆蓋。Al?O?薄膜因?qū)拵?、高?dǎo)熱性和良好的化學(xué)穩(wěn)定性而成為代表性材料。已有研究探索了退火、吹掃時間、沉積厚度等對薄膜性能

  儀器 光學(xué) 薄膜 269瀏覽量

• 臺階儀在復(fù)合集流體中的應(yīng)用：厚度測量與粗糙度表征的完整指南2026-04-24 18:02

  

  隨著新能源汽車和儲能行業(yè)的快速發(fā)展，鋰離子電池的能量密度與安全性成為制約其進一步應(yīng)用的關(guān)鍵瓶頸。傳統(tǒng)鋰離子電池采用金屬集流體（銅箔/鋁箔），雖技術(shù)成熟，但存在面密度高（銅箔約9μm）、成本占比較高以及穿刺時易引發(fā)內(nèi)短路、熱失控等問題。復(fù)合集流體（聚合物基金屬復(fù)合薄膜）的出現(xiàn)為上述困境提供了創(chuàng)新解決路徑，以4～8μm聚合物薄膜為基底，沉積0.5～2μm金屬層，

  儀器 測量 129瀏覽量

• 橢偏儀在光學(xué)薄膜中的應(yīng)用 | Al?O?膜厚、色差與耐腐蝕性解析2026-04-22 18:04

  

  銀制品易變色、硬度低，傳統(tǒng)表面防護方法存在覆膜不均、缺陷多、結(jié)合力弱等問題。原子層沉積（ALD）技術(shù)可實現(xiàn)均勻、可控的氧化鋁（Al?O?）薄膜，但膜厚過薄缺陷多、過厚影響外觀（色差）。Flexfilm費曼儀器全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本文采用ALD在拋光925銀表面制備不同厚度Al?O

  儀器 光學(xué)薄膜 光譜儀 339瀏覽量

• 臺階儀在有機薄膜晶體管應(yīng)用：60 nm有源層等效厚度精確測量全流程2026-04-20 18:03

  

  有機薄膜晶體管因其低成本、柔性化制備潛力而在光電探測領(lǐng)域備受關(guān)注，然而有機薄膜的厚度精準控制與微觀結(jié)構(gòu)表征始終是制約器件性能優(yōu)化的關(guān)鍵難題。Flexfilm費曼儀器探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供數(shù)據(jù)支撐。本研究以光敏有機半導(dǎo)體材料酞菁鐵（FePc）為有源層，采

  儀器 晶體管 測量 374瀏覽量

• 基于均勻樣品的薄膜厚度測量：橢偏儀vs.反射儀2026-04-17 18:03

  

  本研究利用高質(zhì)量二氧化硅（SiO?）和氧化鋁（Al?O?）薄膜（硅襯底）對光譜橢偏儀和反射儀進行了系統(tǒng)比較。通過詳細的不確定度分析，發(fā)現(xiàn)兩種方法在10nm至2000nm的膜厚范圍內(nèi)結(jié)果高度一致，偏差均在測量不確定度之內(nèi)。橢偏儀在較薄薄膜上不確定度更低，而反射儀在較厚薄膜上更具優(yōu)勢。這項工作強調(diào)了嚴格的厚度表征和不確定度評估對薄膜計量學(xué)的重要性。Flexfil

  儀器 測量 97瀏覽量

• 磁控濺射工藝時間對金屬及氧化物靶材濺射速率的影響：基于臺階儀的薄膜厚度表征2026-04-15 18:04

  

  磁控濺射是物理氣相沉積（PVD）領(lǐng)域的主流技術(shù)之一，具有沉積溫度低、速率快、多靶共沉積靈活等優(yōu)勢，被廣泛應(yīng)用于金屬、半導(dǎo)體及絕緣體薄膜的制備。實際工程中，由于不同材料濺射原子的角分布差異懸殊，晶振片監(jiān)測往往誤差較大，工程師們通常采用"以工藝時間換算薄膜厚度"的方法：在短時間內(nèi)濺射沉積一定厚度的薄膜，經(jīng)臺階儀測量折算出沉積速率，再按比例推算目標厚度所需的濺射時

  儀器 半導(dǎo)體 144瀏覽量

• 「納米光柵無損檢測」告別破壞性表征，光譜橢偏儀實現(xiàn)99.97%精度無損測量2026-04-13 18:04

  

  隨著半導(dǎo)體技術(shù)的持續(xù)演進，器件特征尺寸不斷縮減，而量產(chǎn)化的工藝需求卻日益提高，納米壓印技術(shù)因此應(yīng)運而生。納米壓?。∟IL）的基本原理是將模具上的圖形直接轉(zhuǎn)移至襯底，從而實現(xiàn)批量化復(fù)制。與傳統(tǒng)光刻工藝相比，納米壓印還具有工藝簡單、分辨率高、生產(chǎn)效率高、成本低等顯著優(yōu)勢，已成為半導(dǎo)體加工工藝中最重要的技術(shù)路線之一。在納米壓印工藝過程中，模板和器件的關(guān)鍵尺寸（CD

  儀器 光譜 測量 123瀏覽量

• 磁控濺射SiO?薄膜工藝優(yōu)化：臺階儀在膜厚與粗糙度表征中的應(yīng)用2026-04-10 18:04

  

  氧化硅（SiO?）薄膜作為典型的功能薄膜材料，具有優(yōu)良的光學(xué)、電學(xué)及機械性能，在液晶顯示、太陽能電池、建筑玻璃及汽車玻璃等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其低折射率和高透光特性，使其在光學(xué)減反射膜和表面保護層中具有重要作用。在太陽能電池中，氧化硅薄膜不僅可作為隔離層抑制載流子復(fù)合，還可作為抗反射層提升光吸收效率，從而改善器件整體性能與穩(wěn)定性。隨著高性能薄膜需求的不斷提升，

  儀器 材料 薄膜 102瀏覽量

• 橢偏儀薄膜測試解決方案：半導(dǎo)體、聚合物與生物傳感的高精度表征2026-04-08 18:05

  

  近年來，隨著材料科學(xué)的快速發(fā)展，薄膜制備技術(shù)及表界面研究逐漸成為研究熱點。納米加工技術(shù)的不斷成熟，使得器件性能要求持續(xù)提高，相應(yīng)地，各類微納表征技術(shù)也得到了快速發(fā)展。SEM、AFM及TEM等方法雖具備高空間分辨率與良好的可視化能力，但普遍存在對樣品造成不可逆損傷的問題，且難以實現(xiàn)原位檢測。相比之下，橢圓偏振光譜（SpectroscopicEllipsomet

  半導(dǎo)體 測試 薄膜 138瀏覽量