Flexfilm文章

• 薄膜質(zhì)量關(guān)鍵 | 半導(dǎo)體/顯示器件制造中薄膜厚度測量新方案2025-07-22 09:53

  

  在半導(dǎo)體和顯示器件制造中，薄膜與基底的厚度精度直接影響器件性能?，F(xiàn)有的測量技術(shù)包括光譜橢偏儀（SE）和光譜反射儀（SR）用于薄膜厚度的測量，以及低相干干涉法（LCI）、彩色共焦顯微鏡（CCM）和光譜域干涉法（SDI）用于基板厚度的測量。本研究提出SR-SDI集成光學(xué)系統(tǒng)，通過可見光反射譜與近紅外干涉譜的協(xié)同處理，實現(xiàn)跨尺度同步厚度測量，并開發(fā)模型化干涉分析算

  半導(dǎo)體 顯示器件 測量 1842瀏覽量

• 傳輸線法（TLM）優(yōu)化接觸電阻：實現(xiàn)薄膜晶體管電氣性能優(yōu)化2025-07-22 09:53

  

  本文通過傳輸線方法（TLM）研究了不同電極材料（Ti、Al、Ag）對非晶Si-Zn-Sn-O（a-SZTO）薄膜晶體管（TFT）電氣性能的影響，通過TLM接觸電阻測試儀提取了TFT的總電阻（RT）和接觸電阻（RC），結(jié)合電學(xué)表征和能帶分析，發(fā)現(xiàn)Ti電極因形成歐姆接觸且功函數(shù)差最小，顯著提升了遷移率和亞閾值擺幅等關(guān)鍵參數(shù)。1實驗設(shè)計與制備flexfilm(a)

  TLM 接觸電阻 晶體管 1895瀏覽量

• 觸針式輪廓儀 | 臺階儀 | 納米級多臺階高度的精準(zhǔn)測量2025-07-22 09:52

  

  臺階高度作為納米結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵參數(shù)，其測量精度直接影響相關(guān)研究與應(yīng)用。本文利用觸針式輪廓儀對三臺階高度樣品進(jìn)行測量與表征的方法。原始測量數(shù)據(jù)通過多項式擬合與低通濾波處理消除低頻偽影和高頻噪聲。實現(xiàn)了納米級三臺階高度樣本（8nm/18nm/26nm）的高精度測量。并應(yīng)用于薄膜沉積速率的計算與驗證，結(jié)果顯示輪廓儀與光譜橢偏儀的沉積速率測量結(jié)果一致。1觸針輪廓儀測量f

  測量 表面輪廓儀 高精度 936瀏覽量

• 四探針法精準(zhǔn)表征電阻率與接觸電阻 | 實現(xiàn)Mo/NbN低溫超導(dǎo)薄膜電阻器2025-07-22 09:52

  

  低溫薄膜電阻器作為超導(dǎo)集成電路的核心元件，其核心挑戰(zhàn)在于實現(xiàn)超導(dǎo)材料NbN與金屬電阻層Mo間的低接觸電阻（R?）。本文使用四探針法研究鉬（Mo）為電阻材料，利用其低電阻率和優(yōu)異工藝重復(fù)性，通過NbN表面氬離子清洗活化及鋁（Al）繃帶層技術(shù)顯著降低界面接觸電阻，為NbN基超導(dǎo)器件提供可靠解決方案。電阻特性通過使用Xfilm埃利四探針方阻儀在2.5–300K溫區(qū)

  接觸電阻 電阻器 集成電路 820瀏覽量

• 接觸式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)方法比較分析2025-07-22 09:52

  

  接觸（觸針）式表面輪廓測量儀廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、精密制造等領(lǐng)域，用于測量零件的輪廓尺寸、曲率半徑、直線度等參數(shù)。本文旨在比較《JJF（閩）1043—2011〈接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)規(guī)范〉》《JJF（冀）3012—2021〈觸針式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)規(guī)范〉》這兩種校準(zhǔn)方法的差異，F(xiàn)lexfilm臺階儀可以驗證其有效性，為儀器校準(zhǔn)提供技術(shù)參考。輪廓儀的基

  測量儀 輪廓測量儀 1020瀏覽量

• 接觸電阻與傳輸線法TLM技術(shù)深度解密：從理論到實操，快速掌握精準(zhǔn)測量核心2025-07-22 09:52

  

  Flexfilm專注于電阻/方阻及薄膜電阻檢測領(lǐng)域的創(chuàng)新研發(fā)與技術(shù)突破，致力于為全球集成電路和光伏產(chǎn)業(yè)提供高精度、高效率的量檢測解決方案。公司以核心技術(shù)為驅(qū)動，深耕半導(dǎo)體量測裝備及光伏電池電阻檢測系統(tǒng)的研發(fā)。在半導(dǎo)體以及光伏器件制造中，接觸電阻的精確測量是優(yōu)化器件性能的關(guān)鍵。本文結(jié)合專業(yè)文獻(xiàn)深入解析接觸電阻的測量原理及TLM技術(shù)，并通過實例演示如何計算關(guān)鍵參

  半導(dǎo)體 接觸電阻 檢測 2816瀏覽量

• 光伏建筑一體化BIPV：透射率與光伏發(fā)電效率的應(yīng)用研究2025-07-22 09:52

  

  本研究針對傳統(tǒng)玻璃難以平衡采光與能源性能的問題，開發(fā)了一種多目標(biāo)優(yōu)化框架，用于設(shè)計半透明建筑集成光伏（ST-BIPV）玻璃。以武漢某大學(xué)辦公室為案例，建立參數(shù)化模型控制光伏玻璃的面積分布、透光率等關(guān)鍵變量，通過仿真評估采光充足度（sDA）、眩光空間自主率（sGA）和光伏發(fā)電效率（EP_e）并尋找帕累托最優(yōu)解。最后采用K-means聚類算法對結(jié)果進(jìn)行分析。Fl

  bipv 光伏 光伏發(fā)電 2517瀏覽量

• 四探針法丨導(dǎo)電薄膜薄層電阻的精確測量、性能驗證與創(chuàng)新應(yīng)用2025-07-22 09:52

  

  薄層電阻（SheetResistance,Rs）是表征導(dǎo)電薄膜性能的關(guān)鍵參數(shù)，直接影響柔性電子、透明電極及半導(dǎo)體器件的性能。四探針法以其高精度和可靠性成為標(biāo)準(zhǔn)測量技術(shù)，尤其適用于納米級薄膜表征。本文系統(tǒng)探討四探針法的測量原理、優(yōu)化策略及其在新型導(dǎo)電薄膜研究中的應(yīng)用，并結(jié)合FlexFilm在半導(dǎo)體量測裝備及光伏電池電阻檢測系統(tǒng)的技術(shù)積累，為薄膜電學(xué)性能的精確測

  電阻 精確測量 薄膜 1432瀏覽量

• 高效OLED印刷工藝應(yīng)用 | 橢偏儀優(yōu)化HTL層VNPB薄膜均勻性2025-07-22 09:51

  

  有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）的噴墨印刷技術(shù)因其材料利用率高、可大面積加工等優(yōu)勢成為產(chǎn)業(yè)焦點，但多層溶液加工存在根本性挑戰(zhàn)：層間互溶與咖啡環(huán)效應(yīng)引發(fā)薄膜不均勻?qū)е缕骷阅芟陆怠１疚奶岢鲆环N基于二元溶劑（環(huán)己酮/環(huán)己基苯）和可熱交聯(lián)空穴傳輸材料VNPB構(gòu)建穩(wěn)定界面，首次實現(xiàn)空穴注入層（HIL）、空穴傳輸層（HTL）、發(fā)光層（EML）全噴墨印刷，為高性能溶液加工OL

  OLED 二極管 1472瀏覽量

• 液態(tài)金屬接觸電阻精確測量：傳輸線法（TLM）的新探索2025-07-22 09:51

  

  液態(tài)金屬（如galinstan）因高導(dǎo)電性、可拉伸性及生物相容性，在柔性電子領(lǐng)域備受關(guān)注。然而，其與金屬電極間的接觸電阻（Rc）測量存在挑戰(zhàn)：傳統(tǒng)傳輸線法（TLM）假設(shè)電極薄層電阻（Rshe）可忽略，但液態(tài)金屬的Rshe與銅電極（10−3 Ω/□）相近，導(dǎo)致電流分布不均，測量誤差顯著。本文提出一種改進(jìn)TLM方法,通過獨立電流施加與FEM模擬交聯(lián)，使用TLM接

  TLM 接觸電阻 測量 1837瀏覽量