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SiC 肖特基二極管氣體傳感器可以廣泛應(yīng)用于檢測氣體排放物和氣體泄露。通過采用PdCr 合金,可以提高Pd/ SiC 氣體傳感器的靈敏度。同時,在Pd 層和SiC 之間引入SnO2 作為界面層也是提高其靈敏度的一種有效途徑。進一步的研究表明,SnO2 層的大小也對傳感器的性能有著重要影響。
關(guān)鍵詞: 碳化硅; 氣體傳感器; 肖特基二極管
Abstract : Silicon carbide based Schottky diode gas sensors are widely used for applications such as emission mea2 surements and leak detections. The sensitivity of Pd/ SiC gas sensors is improved by the alloy of Pd and Cr. Another approach to improve the sensitivity of Pd/ SiC gas sensors is the introduction of tin oxide as an interfacial layer. Further investigations show that the geometry of the tin oxide film determines the performance of the sen2 sors.
Key words : SiC; gas sensor ; Schottky diode
關(guān)鍵詞: 碳化硅; 氣體傳感器; 肖特基二極管
Abstract : Silicon carbide based Schottky diode gas sensors are widely used for applications such as emission mea2 surements and leak detections. The sensitivity of Pd/ SiC gas sensors is improved by the alloy of Pd and Cr. Another approach to improve the sensitivity of Pd/ SiC gas sensors is the introduction of tin oxide as an interfacial layer. Further investigations show that the geometry of the tin oxide film determines the performance of the sen2 sors.
Key words : SiC; gas sensor ; Schottky diode
SiC
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