中芯國(guó)際與ASML光刻機(jī)問(wèn)題解決，開(kāi)始進(jìn)入光刻階段
在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入 10nm 節(jié)點(diǎn)之后，制造越來(lái)越困難，其中最復(fù)雜的一步——光刻需要用到 EUV 光刻機(jī)了，而后者目前只有荷蘭 ASML 阿斯麥公司才能供應(yīng)。中芯國(guó)際去年也訂購(gòu)了一臺(tái) EUV 光刻機(jī)，日前該公司表示與 ASML 之間已解決光刻機(jī)的問(wèn)題，EUV 技術(shù)研發(fā)步入正軌。
前不久有消息稱(chēng) ASML 停止對(duì)中芯國(guó)際供應(yīng) EUV 光刻機(jī)，隨后 ASML 公司表示不是停供，而是延期，主要是在準(zhǔn)備該國(guó)政府的出口申請(qǐng)文本工作。
中芯國(guó)際董事長(zhǎng)周子學(xué)日前在韓國(guó)訪(fǎng)問(wèn)，韓媒報(bào)道稱(chēng)周子學(xué)表態(tài)已經(jīng)解決了與 ASML 之間就光刻機(jī)供應(yīng)存在的問(wèn)題，強(qiáng)調(diào)中芯國(guó)際在先進(jìn)工藝上的研發(fā)、生產(chǎn)一直處于穩(wěn)定的軌道上，與客戶(hù)及設(shè)備供應(yīng)商之間沒(méi)有任何問(wèn)題。
ASML 公司是 EUV 光刻機(jī)目前唯一的供應(yīng)商，今年四季度，ASML 預(yù)計(jì)交付 8 臺(tái) EUV 光刻機(jī)，平均每臺(tái)價(jià)格達(dá)到了 1.2 億歐元，折合人民幣 9.3 億元，堪稱(chēng)人類(lèi)最昂貴的設(shè)備了。
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