9月28日晚間，晶瑞股份發(fā)布公告稱，將開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目。為此，晶瑞股份擬通過Singtest Technology PTE. LTD.進口韓國SK Hynix的ASML光刻機設(shè)備，總價款為1102.5萬美元（折合7508萬人民幣）。消息一出，公司股價開盤后快速拉至漲停，公司市值當天也暴增13.39億元。

值得一提的是，晶瑞股份此次擬購買的光刻機并非市場可生產(chǎn)5nm、7nm芯片的先進EUV光刻機，且后續(xù)仍存交貨等不確定性因素。

中證報報道，晶瑞股份方面人士表示，現(xiàn)在光刻機設(shè)備并不好買，公司并不是直接購買ASML的光刻機設(shè)備，而是通過代理商購買存儲器芯片廠商SK海力士的一臺ASML二手光刻機設(shè)備。

據(jù)透露，其購買的光刻機類型是ASML的1900型號的光刻機。根據(jù)公開報道，ASML的1900型號浸沒式光刻機在2007年7月量產(chǎn)發(fā)貨，可以助力客戶將芯片量產(chǎn)制造能力擴展到36.5nm節(jié)點。

為促成本次采購，晶瑞于2020年9月8日通過代理商Singtest Technology PTE.LTD.向SK Hynix報價，于2020年9月24日確定中標。

本次合同的順利履行可以保障集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進性和設(shè)備如期到位并投產(chǎn)，對加快項目進度有積極影響，也有利于進一步提升其在光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力。

資料顯示，晶瑞股份圍繞泛半導(dǎo)體材料和新能源材料兩個方向，主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鋰電池、LED、平板顯示和光伏太陽能電池等行業(yè)，具體應(yīng)用到下游電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜等工藝環(huán)節(jié)。全資子公司蘇州瑞紅是國內(nèi)光刻膠龍頭，1993年便開始光刻膠的生產(chǎn)。

至于為什么購買SK海力士的ASML的光刻機，可能是二手的ASML光刻機性價比比較高吧。

值得注意的是，9月29日，晶瑞股份發(fā)布可轉(zhuǎn)債預(yù)案稱，本次擬向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集資金總額不超過55,000.00萬元（含55,000萬元），扣除發(fā)行費用后的募集資金凈額用于以下項目：

據(jù)披露，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目為由公司牽頭發(fā)起的超大規(guī)模集成電路用高端光刻膠技術(shù)攻關(guān)及產(chǎn)業(yè)化工程的攻關(guān)任務(wù)之一，旨在通過自主研發(fā)，打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，完成ArF光刻膠用樹脂的中試示范線建設(shè)，滿足自身ArF光刻膠的性能要求。實現(xiàn)批量生產(chǎn)ArFImmersion光刻膠的成套技術(shù)體系并完成產(chǎn)品定型，技術(shù)指標和工藝性能滿足45～14nm集成電路技術(shù)和生產(chǎn)工藝要求。

陽恒化工年產(chǎn)9萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項目為江蘇陽恒化工有限公司在原廠址區(qū)域內(nèi)，在不增加硫酸總產(chǎn)能和排污總量及污染因子的前提下，通過引進技術(shù)裝備對原基礎(chǔ)化工產(chǎn)品工業(yè)用硫酸生產(chǎn)裝置進行改造提升，生產(chǎn)部分半導(dǎo)體級高純硫酸，實現(xiàn)技術(shù)改造標準達到國際先進水平，安全、環(huán)保、投入產(chǎn)出水平高于原項目水平。本次可轉(zhuǎn)債發(fā)行用于本項目第一期投資，第一期產(chǎn)能為30000噸/年。

此外，晶瑞股份擬將募集資金中的16,500.00萬元用于補充流動資金或償還銀行貸款，以滿足公司日常運作資金需要。近年來伴隨著公司主營業(yè)務(wù)的逐步發(fā)展，以及募集資金投資項目的建設(shè)實施，預(yù)計未來幾年公司規(guī)模將保持一定增長，將需要籌集更多資金來滿足流動資金需求。

晶瑞股份表示，本次募集資金投資項目符合國家相關(guān)的產(chǎn)業(yè)政策以及未來公司整體戰(zhàn)略發(fā)展方向，對振興國內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)，促進產(chǎn)品升級換代具有重要意義，為公司進一步提升自身競爭優(yōu)勢、強化市場地位奠定基礎(chǔ)。本次募集資金的運用合理、可行，符合發(fā)行人及全體股東的利益。

責任編輯：YYX