ASML從荷蘭向中國提供DUV光刻系統(tǒng),無需出口許可證
對于我國的芯片行業(yè)而言，更為先進(jìn)的光刻機(jī)的確是個很大逾越的障礙，而全球的設(shè)備也都來自ASML。ASML CFO Roger Dassen在財(cái)報(bào)會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務(wù)情況，其表示一些情況下，出口光刻機(jī)是不需要許可證的。
Roger Dassen指出，ASML了解美國當(dāng)局目前的規(guī)章制度及其解釋，當(dāng)然也知道這些與特定的中國客戶密切相關(guān)，但如果廣泛的來理解其規(guī)章制度對ASML的總體含義（對于特定的中國客戶），則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。
不過，如果涉及直接從美國運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請出口許可證。
在這之前ASML還公布了光刻機(jī)產(chǎn)品的最新進(jìn)展，3600D是其目前研發(fā)中的最先進(jìn)光刻機(jī)系統(tǒng)，于2021年中旬出貨交付，其30mJ/cm2的曝光速度達(dá)到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1nm。
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