中芯國(guó)際通過(guò)港交所發(fā)布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就購(gòu)買(mǎi)用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥（ASML）產(chǎn)品與阿斯麥集團(tuán)簽訂購(gòu)買(mǎi)單，根據(jù)購(gòu)買(mǎi)的ASML產(chǎn)品定價(jià)計(jì)算，該協(xié)議購(gòu)買(mǎi)阿斯麥產(chǎn)品的總代價(jià)約為12億美元。

根據(jù)該協(xié)議，中芯國(guó)際將先行向ASML支持30%的預(yù)付款，余款將于產(chǎn)品交付時(shí)支付。

從采購(gòu)金額來(lái)看，12億美金夠買(mǎi)十多臺(tái)先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，即便是最貴的1.2億美金一臺(tái)的EUV光刻機(jī)，也能賣(mài)個(gè)10臺(tái)。

根據(jù)公告顯示，ASML批量采購(gòu)協(xié)議的期限從原來(lái)的2018年1月1日至2020年12月31日延長(zhǎng)至從2018年1月1日至2021年12月31日。中芯國(guó)際根據(jù)批量采購(gòu)協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間就購(gòu)買(mǎi)用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML集團(tuán)簽訂購(gòu)買(mǎi)單。

也就是說(shuō)，此次的協(xié)議是此前采購(gòu)協(xié)議（2018年1月1日至2020年12月31日）的延長(zhǎng)，延長(zhǎng)至2021年12月31日。換句話(huà)來(lái)說(shuō)就是，這是一個(gè)覆蓋了2018-2021年三年間的采購(gòu)協(xié)議，并且公告顯示，在2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間，已經(jīng)在執(zhí)行購(gòu)買(mǎi)協(xié)議。 所以，這個(gè)12億美元的采購(gòu)并不是全新的采購(gòu)訂單，大概率之前已經(jīng)完成了部分的采購(gòu)。

而且，可能這個(gè)采購(gòu)里還包含了之前2018年采購(gòu)的那臺(tái)至今未交付的EUV光刻機(jī)的訂單的重新延長(zhǎng)。

早在2018年5月，中芯國(guó)際就向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)最新型的EUV光刻機(jī)，原計(jì)劃在2019年初交付。但是由于美國(guó)方面的阻撓，ASML一直未能收到荷蘭政府頒發(fā)新的許可證，這也導(dǎo)致了ASML一直無(wú)法向中芯國(guó)際交付EUV光刻機(jī)。

不過(guò)由于中芯國(guó)際訂購(gòu)的EUV光刻機(jī)遲遲無(wú)法拿到許可，該訂單也有可能已經(jīng)取消或替換成了等價(jià)的DUV光刻機(jī)，畢竟在美國(guó)的阻撓下，今年年內(nèi)可能還是難以實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的交付。

此前，ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪(fǎng)中表示：如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國(guó)客戶(hù)（包括中芯國(guó)際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無(wú)需出口許可證。不過(guò)，如果涉及直接從美國(guó)運(yùn)往此類(lèi)客戶(hù)的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

即便中芯國(guó)際未來(lái)能夠拿到EUV光刻機(jī)，由于美國(guó)的禁令，限制對(duì)于中芯國(guó)際供應(yīng)10nm及以下工藝所需的美系半導(dǎo)體設(shè)備，這也使得中芯難以對(duì)7nm以下制程實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)突破，畢竟半導(dǎo)體生產(chǎn)并不只是靠光刻機(jī)就行的。未來(lái)，中芯國(guó)際可能還是要依靠與國(guó)產(chǎn)及非美系設(shè)備廠(chǎng)商在先進(jìn)制程上的協(xié)作來(lái)突破。

編輯：hfy