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芯片IC的封裝和測(cè)試流程是怎么樣的?

iIeQ_mwrfnet ? 來(lái)源:電子工程專(zhuān)輯 ? 作者:電子工程專(zhuān)輯 ? 2021-02-12 18:03 ? 次閱讀
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IC Package (IC的封裝形式)指芯片(Die)和不同類(lèi)型的框架(L/F)和塑封料(EMC)形成的不同外形的封裝體。

IC Package種類(lèi)很多,可以按以下標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi):

按封裝材料劃分為:

金屬封裝、陶瓷封裝、塑料封裝

金屬封裝主要用于軍工或航天技術(shù),無(wú)商業(yè)化產(chǎn)品;

陶瓷封裝優(yōu)于金屬封裝,也用于軍事產(chǎn)品,占少量商業(yè)化市場(chǎng);

塑料封裝用于消費(fèi)電子,因?yàn)槠涑杀镜?,工藝?jiǎn)單,可靠性高而占有絕大部分的市場(chǎng)份額;

按照和PCB板連接方式分為:

PTH封裝和SMT封裝

PTH-Pin Through Hole, 通孔式;

SMT-Surface Mount Technology,表面貼裝式。

目前市面上大部分IC均采為SMT式的

按照封裝外型可分為:

SOT、SOIC、TSSOP、QFN、QFP、BGA、CSP等;

決定封裝形式的兩個(gè)關(guān)鍵因素:

封裝效率。芯片面積/封裝面積,盡量接近1:1;

引腳數(shù)。引腳數(shù)越多,越高級(jí),但是工藝難度也相應(yīng)增加;

其中,CSP由于采用了Flip Chip技術(shù)和裸片封裝,達(dá)到了 芯片面積/封裝面積=1:1,為目前最高級(jí)的技術(shù);

QFN—Quad Flat No-lead Package 四方無(wú)引腳扁平封裝

SOIC—Small Outline IC 小外形IC封裝

TSSOP—Thin Small Shrink Outline Package 薄小外形封裝

QFP—Quad Flat Package 四方引腳扁平式封裝

BGA—Ball Grid Array Package 球柵陣列式封裝

CSP—Chip Scale Package 芯片尺寸級(jí)封裝

IC Package Structure(IC結(jié)構(gòu)圖)

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Raw Material in Assembly(封裝原材料)【W(wǎng)afer】晶圓

【Lead Frame】引線(xiàn)框架

提供電路連接和Die的固定作用;

主要材料為銅,會(huì)在上面進(jìn)行鍍銀、 NiPdAu等材料;

L/F的制程有Etch和Stamp兩種;

易氧化,存放于氮?dú)夤裰?,濕度?于40%RH;

除了BGA和CSP外,其他Package都會(huì)采用Lead Frame, BGA采用的是Substrate;

【Gold Wire】焊接金線(xiàn)

實(shí)現(xiàn)芯片和外部引線(xiàn)框架的電性和物 理連接;

金線(xiàn)采用的是99.99%的高純度金;

同時(shí),出于成本考慮,目前有采用銅 線(xiàn)和鋁線(xiàn)工藝的。優(yōu)點(diǎn)是成本降低, 同時(shí)工藝難度加大,良率降低;

線(xiàn)徑?jīng)Q定可傳導(dǎo)的電流;0.8mil, 1.0mil,1.3mils,1.5mils和2.0mils;

Mold Compound塑封料/環(huán)氧樹(shù)脂主要成分為:環(huán)氧樹(shù)脂及各種添加劑(固化劑,改性劑,脫 模劑,染色劑,阻燃劑等);

主要功能為:在熔融狀態(tài)下將Die和Lead Frame包裹起來(lái), 提供物理和電氣保護(hù),防止外界干擾;

存放條件:零下5°保存,常溫下需回溫24小時(shí);

【Epoxy】銀漿

成分為環(huán)氧樹(shù)脂填充金屬粉末(Ag);有三個(gè)作用:將Die固定在Die Pad上; 散熱作用,導(dǎo)電作用;

-50°以下存放,使用之前回溫24小時(shí);

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FOL– Front of Line前段工藝

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FOL– Back Grinding背面減薄

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將從晶圓廠出來(lái)的Wafer進(jìn)行背面研磨,來(lái)減薄晶圓達(dá)到 封裝需要的厚度(8mils~10mils);

磨片時(shí),需要在正面(Active Area)貼膠帶保護(hù)電路區(qū)域 同時(shí)研磨背面。研磨之后,去除膠帶,測(cè)量厚度;

FOL– Wafer Saw晶圓切割

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將晶圓粘貼在藍(lán)膜(Mylar)上,使得即使被切割開(kāi)后,不會(huì)散落;

通過(guò)Saw Blade將整片Wafer切割成一個(gè)個(gè)獨(dú)立的Dice,方便后面的 Die Attach等工序;

Wafer Wash主要清洗Saw時(shí)候產(chǎn)生的各種粉塵,清潔Wafer;

FOL– 2nd Optical Inspection二光檢查

主要是針對(duì)Wafer Saw之后在顯微鏡下進(jìn)行Wafer的外觀檢查,是否有出現(xiàn)廢品。

FOL– Die Attach 芯片粘接

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芯片拾取過(guò)程:

1、Ejector Pin從wafer下方的Mylar頂起芯片,使之便于 脫離藍(lán)膜;

2、Collect/Pick up head從上方吸起芯片,完成從Wafer 到L/F的運(yùn)輸過(guò)程;

3、Collect以一定的力將芯片Bond在點(diǎn)有銀漿的L/F 的Pad上,具體位置可控;

4、Bond Head Resolution:X-0.2um;Y-0.5um;Z-1.25um;

5、Bond Head Speed:1.3m/s;

FOL– Epoxy Cure 銀漿固化

銀漿固化:

175°C,1個(gè)小時(shí); N2環(huán)境,防止氧化:

Die Attach質(zhì)量檢查:

Die Shear(芯片剪切力)

FOL– Wire Bonding 引線(xiàn)焊接

利用高純度的金線(xiàn)(Au) 、銅線(xiàn)(Cu)或鋁線(xiàn)(Al)把 Pad 和 Lead通過(guò)焊接的方法連接起來(lái)。Pad是芯片上電路的外接 點(diǎn),Lead是 Lead Frame上的 連接點(diǎn)。

W/B是封裝工藝中最為關(guān)鍵的一部工藝。

FOL– 3rd Optical Inspection三光檢查

EOL– End of Line后段工藝

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EOL– Molding(注塑)

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EOL– Laser Mark(激光打字)

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在產(chǎn)品(Package)的正面或者背面激光刻字。內(nèi)容有:產(chǎn)品名稱(chēng),生產(chǎn)日期,生產(chǎn)批次等;

EOL– PostMold Cure(模后固化)

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用于Molding后塑封料的固化,保護(hù)IC內(nèi)部結(jié)構(gòu),消除內(nèi)部應(yīng)力。Cure Temp:175+/-5°C;Cure Time:8Hrs

EOL– De-flash(去溢料)

目的:De-flash的目的在于去除Molding后在管體周?chē)鶯ead之間 多余的溢料; 方法:弱酸浸泡,高壓水沖洗;

EOL– Plating(電鍍)

利用金屬和化學(xué)的方法,在Leadframe的表面 鍍上一層鍍層,以防止外界環(huán)境的影響(潮濕 和熱)。并且使元器件在PCB板上容易焊接及 提高導(dǎo)電性。

電鍍一般有兩種類(lèi)型:

Pb-Free:無(wú)鉛電鍍,采用的是>99.95%的高純 度的錫(Tin),為目前普遍采用的技術(shù),符合 Rohs的要求;

Tin-Lead:鉛錫合金。Tin占85%,Lead占 15%,由于不符合Rohs,目前基本被淘汰;

EOL– Post Annealing Bake(電鍍退火)

目的:讓無(wú)鉛電鍍后的產(chǎn)品在高溫下烘烤一段時(shí)間,目的在于 消除電鍍層潛在的晶須生長(zhǎng)(Whisker Growth)的問(wèn)題; 條件:150+/-5C; 2Hrs;

EOL– Trim&Form(切筋成型)

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Trim:將一條片的Lead Frame切割成單獨(dú)的Unit(IC)的過(guò)程; Form:對(duì)Trim后的IC產(chǎn)品進(jìn)行引腳成型,達(dá)到工藝需要求的形狀, 并放置進(jìn)Tube或者Tray盤(pán)中;

EOL– Final Visual Inspection(第四道光檢)

在低倍放大鏡下,對(duì)產(chǎn)品外觀進(jìn)行檢查。主要針對(duì)EOL工藝可能產(chǎn)生的廢品:例如Molding缺陷,電鍍?nèi)毕莺蚑rim/Form缺陷等。

原文標(biāo)題:圖文解說(shuō):芯片IC的封裝/測(cè)試流程

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責(zé)任編輯:haq

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