自動(dòng)化DC測(cè)量概述

憑借 FormFactor 的Contact Intelligence技術(shù)，操作員可以在整個(gè)班次中（整夜甚至整個(gè)周末）開(kāi)始測(cè)試并讓系統(tǒng)保持測(cè)量狀態(tài)，而無(wú)需任何用戶干預(yù)。探針經(jīng)過(guò)動(dòng)態(tài)校正，以補(bǔ)償溫度變化時(shí)探針或設(shè)備的任何熱膨脹，可實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地扎到pad上。Contact Intelligence模塊通過(guò)電動(dòng)針座優(yōu)化在小pad上扎針，自動(dòng)變溫測(cè)量，和自動(dòng)調(diào)整探針在Sub-Die中的位置，實(shí)現(xiàn)7X24小時(shí)不間斷作業(yè)。Test Executive軟件可以輕松調(diào)用單個(gè)DUT探針布局和多個(gè)DUT布局，以實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化。接觸智能系統(tǒng)負(fù)責(zé)所有復(fù)雜的熱過(guò)渡自主管理，以及探針到Pad對(duì)準(zhǔn)（PTPA）的熱穩(wěn)定時(shí)間優(yōu)化。這樣就可以在更短的時(shí)間內(nèi)測(cè)試更多的器件，并且在DC測(cè)量中具有更高的一致性，從而獲得更準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)和更快的上市時(shí)間。

當(dāng)與新的噪聲測(cè)試設(shè)備（閃爍噪聲，RTN，相位噪聲）集成時(shí)CM300xi-ULN該系統(tǒng)為超低噪聲探測(cè)提供了業(yè)界最高的測(cè)試吞吐量，并在低至30μm的小pad上具有低接觸電阻。所有功能都進(jìn)行了優(yōu)化，以確保不降低超低噪聲性能。

自動(dòng)化DC的主要特征：

Contact Intelligence

簡(jiǎn)單易用-不太有經(jīng)驗(yàn)的操作人員也能通過(guò)簡(jiǎn)單地?fù)逑乱粋€(gè)按鈕完成 DC 測(cè)量。這降低了讓有經(jīng)驗(yàn)的用戶在每個(gè)系統(tǒng)上都花費(fèi)全部時(shí)間的需要。

縮短了穩(wěn)定時(shí)間–如果探針偏離了與pad對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)，則系統(tǒng)將自動(dòng)把它們重新對(duì)準(zhǔn)，這樣可減少測(cè)試時(shí)間并增加吞吐量。

無(wú)人值守式的使用-可在夜間或周末將測(cè)量作業(yè)置于運(yùn)行狀態(tài)，在不同的溫度下測(cè)試晶圓上的所有器件，并不需要操作人員的干預(yù)。

審核編輯黃昊宇