MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。

MEMS傳感器通常被分為以下7類：

1、壓力傳感器和計(jì)量壓力的傳感器。

2、熱學(xué)傳感器：溫度和熱量傳感器。

3、力學(xué)傳感器：力、壓強(qiáng)、速度和加速度傳感器。

4、化學(xué)傳感器：化學(xué)濃度、化學(xué)成分和反應(yīng)率傳感器。

5、磁學(xué)傳感器：磁場(chǎng)強(qiáng)度、磁通密度和磁化強(qiáng)度傳感器。

6、輻射傳感器：電磁波強(qiáng)度傳感器。

7、電學(xué)傳感器：電壓、電流和電荷傳感器。

除了上面介紹的幾種典型的MEMS傳感器外，還有許許多多的MEMS傳感器，如用于微觀判斷的MEMS觸覺(jué)傳感器、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器等。在不同環(huán)境中，MEMS傳感器的技術(shù)應(yīng)用也是不同的。但是，無(wú)論何種傳感器，都需要有防護(hù)涂層才能夠使其延長(zhǎng)使用壽命。

派瑞林是一種新型敷形涂層材料，是一種對(duì)二甲苯聚合物，它具有化學(xué)惰性，不溶于酸、堿和有機(jī)溶劑，并能抗水解剝蝕，由這種技術(shù)形成的薄膜涂層能覆蓋到絲織物的棱邊和縫隙內(nèi)。其表面呈疏水性，對(duì)水汽和腐蝕性氣體滲透性差，熱穩(wěn)定性好，在酸霧、霉菌、潮濕、腐蝕性等惡劣環(huán)境中有很好的隔離防護(hù)功能。派瑞林(Parylene)膜層因其生成環(huán)境溫度較低、介電常數(shù)小、潤(rùn)滑性好、摩擦系數(shù)低、絕緣性和防腐性好等特點(diǎn)，在多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

目前傳感器敏感元件直接暴露在使用環(huán)境中，缺乏防護(hù)涂層，容易受到水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境的影響，從而導(dǎo)致傳感器敏感元件的使用壽命較短，派瑞林(Parylene)可在真空下氣相沉積，其活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部，周圍形成無(wú)針孔，厚度均勻的透明絕緣涂層，給傳感器敏感元件提供一個(gè)完整的優(yōu)質(zhì)防護(hù)涂層，抵御酸堿、鹽霧、霉菌及各種腐蝕性氣體的侵害。

另外，派瑞林涂層技術(shù)因其涂層均勻、致密、超薄，不會(huì)改變傳感器的靈敏性、外觀、尺寸、彈性等，近年來(lái)在傳感器表面鍍膜Parylene已經(jīng)成為一種趨勢(shì)，經(jīng)Parylene鍍膜防護(hù)的傳感器包括汽車傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學(xué)傳感器、聲學(xué)傳感器、生物醫(yī)學(xué)電極和植入傳感器等等。Parylene對(duì)傳感器的保護(hù)除了絕緣防護(hù)外，更多是用做惡劣環(huán)境防護(hù)材料，Parylene膜層能耐酸、堿和有機(jī)溶劑，對(duì)水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有極好的阻隔防護(hù)能力。

審核編輯 黃宇