掃描電子顯微鏡是一種全自動的、非破壞性的顯微分析系統(tǒng)，可針對無機材料和部分有機材料，迅速提供在統(tǒng)計學上可靠且可重復(fù)的礦物學、巖相學和冶金學數(shù)據(jù)，在采礦業(yè)，可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化，在石油和天然氣行業(yè)，鉆屑和巖心樣品的顯微鏡分析降低了風險，提高了采收率。煤炭工業(yè)中，該系統(tǒng)可用于對煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物進行自動分析，以更好地了解煤的燃燒和廢棄物的利用。

由于高能電子與材料的相互作用，在樣品上產(chǎn)生各種信息，如二次電子、背反射電子、X射線、陰極發(fā)光、吸收電子和透射電子等。由于從樣品中獲得的各種信息的強度和分布與諸如表面形態(tài)、成分、晶體取向以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)(如電學性質(zhì)、磁學性質(zhì)等)，因此，通過接收和處理這些信息，可以獲得表征樣品形貌的掃描電子圖像，或進行晶體學分析或成分分析。應(yīng)用中，很多都集中在半導體器件和集成電路上。能詳細檢查設(shè)備工作時局部表面電壓變化的實際情況。這是因為這種變化會帶來圖像對比度、焊接開裂和腐蝕等方面的變化。表面的細節(jié)或關(guān)系可以很容易地觀察到。

它的電疇的觀察是通過化學蝕刻樣品的表面提前實現(xiàn)的。由于不同極性的疇被腐蝕的程度不同，可以使用腐蝕劑在鐵電體表面形成不均勻的區(qū)域，以便在顯微鏡下觀察。因此，可以預(yù)先對樣品表面進行化學刻蝕，并利用掃描電子顯微鏡圖像中的黑白對比度來確定不同取向的電疇結(jié)構(gòu)。針對不同的鐵電晶體，選擇合適的刻蝕劑種類、濃度、刻蝕時間和刻蝕溫度，可以得到良好的疇結(jié)構(gòu)。觀察到的PLZT材料的90°電疇。與其他設(shè)備的組合以實現(xiàn)多種分析功能。

掃描電鏡的優(yōu)點

(一) 能夠直接觀察樣品表面結(jié)構(gòu)(二) 樣品制備簡單，無需切割(三) 樣品可以在樣品室內(nèi)進行三維平移和旋轉(zhuǎn)，因此可以從各種角度對樣品進行觀察(四) 大景深，豐富的立體圖像。掃描電子顯微鏡的景深比光學顯微鏡大幾百倍，比透射電子顯微鏡大幾十倍。(五) 圖像具有較寬的放大范圍和相對較高的分辨率?？梢苑糯笫兜綆资f倍?；竞w了從放大鏡、光學顯微鏡到透射電子顯微鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，可達3nm。(六) 電子束對樣品的損傷和污染較小。(七)在觀察形貌的同時，樣品發(fā)出的其他信號也可用于微區(qū)成分分析

審核編輯 黃宇