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12月11日消息，自去年10月美國出臺對華半導體限制新規(guī)之后，今年日本和荷蘭也相繼跟進限制了先進半導體設備的對華出口。但是，這也給其他尚未出臺類似限制政策的國家的半導體設備廠商帶來了新的機會，畢竟中國大陸目前仍是全球最大的半導體設備市場。

據DigiTimes報道，韓國光學晶圓檢測設備制造商Nextin近期已經與一家未公開的中國客戶簽署了一家價值為70億韓元（約合539萬美元）的采購協(xié)議，購買了其一臺型號為 Aegis-3 的檢測設備。據稱，該設備的檢測速度比上一代的 Aegis-2 快了 30%，計算性能為 1.47 TFLOPS。

Nextin代表Park Tae-hoon表示：“第三代Aegis設備將被運送到中國委托工廠和存儲器企業(yè)。預計部分第二代Aegis設備的訂購顧客將要求升級為第三代設備?！?/p>

上個月的信息還顯示，得益于美日荷對華半導體設備的出口限制，Nextin已經向兩家中國大陸芯片制造商供應了數臺型號為 Aegis-2 的檢測設備，交易的總價值約為 200 億韓元。

可以說來自中國市場的旺盛需求，推動了Nextin業(yè)績的快速增長。財報數據也顯示，Nextin今年第三季度，Nextin收入為 423 億韓元，營業(yè)利潤為 234 億韓元，分別比上年增長 180% 和 230%，營業(yè)利潤率也高達 51.6%。Nextin在此前的采訪中也指出，預計其今年來自中國大陸的收入將比 2021 年翻一番，占公司收入的 70% 左右。并且，中國銷售額的增長幫助 Nextin 目前積累了價值 1200 億韓元的訂單。

為了進一步開拓中國市場，今年8月25日，Nexting公司還與無錫高新區(qū)、無錫市產業(yè)集團簽約合作，宣布投資2億美元在無錫建半導體高端檢測量測裝備生產研發(fā)基地，將專注半導體晶圓和半導體硅片高端檢測、量測裝備的研發(fā)、生產及銷售，并計劃設立技術研發(fā)中心、形成自有知識產權，提高產業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平。

資料顯示，韓國Nextin公司成立于2010年，已于2020年在韓國上市，是韓國一家集成電路和顯示面板失效檢測和量測設備的供應商，總部位于韓國京畿，也在以色列設有研發(fā)中心，行業(yè)競爭對手包括美國科磊（KLA）、日本日立等公司，應用領域涉及存儲芯片、邏輯芯片等，主要客戶包括三星電子、SK海力士、福建晉華、長鑫存儲、中芯國際、長江存儲等。

據了解，從技術路線原理上看，半導體檢測和量測設備主要包括光學檢測技術、電子束檢測技術和 X 光量測技術，其中光學檢測技術空間占比較大。根據 VLSI Research和 QY Research 的報告，2020 年全球半導體檢測和量測設備市場中，應用光學檢測技術、電子束檢測技術及 X光量測技術的設備市場份額占比分別為 75.2%、18.7%及 2.2%。需要指出的是光學檢測工具比電子束檢測及 X光量測設備速度更快。

半導體光學檢測設備旨在使用明場（通過反射光獲取圖像）和/或暗場（使用散射光進行檢測）模式快速檢測晶圓上的問題。Nextin 的 Aegis系列檢測設備基于其創(chuàng)新的2-D成像技術及及其獲得專利的雙鏡焦平面組裝技術，可以在明場和暗場照明同步進行高靈敏度、高速度地檢測 200 毫米或300 毫米晶圓。其中，基于明場法可以發(fā)現(xiàn)小至 15nm 的缺陷，依靠散射光的暗場方法可以檢測 30nm 的缺陷。Aegis系列檢測設不僅可以檢測橋接、減薄、突出和底腳等圖案缺陷，還可以檢測所有半導體制造工序中薄膜、圖案生成、平坦化、離子注入和清潔過程中的劃痕和顆粒，從而獲得卓越的晶圓質量，為客戶帶來投資回報。

雖然Nextin 的 Aegis系列設備的分辨率可能并不那么令人印象深刻，但缺陷不必像晶體管特征尺寸那么小也會影響設備的功能。尺寸為 15nm的缺陷仍然會嚴重破壞或損害14nm或7nm制程工藝節(jié)點中結構的運行，因此檢測也是至關重要。

目前在半導體檢測設備是前道設備國產化率最低的環(huán)節(jié)之一。根據VLSI Research的數據顯示，在體檢測設備市場，主要被科磊（KLA）、應用材料、日立等國外廠商所占據，他們的市場份額分別為 54.8%、9.0%和 7.1%。

根據東吳證券研究所測算，國產半導體檢測設備廠商中科飛測、上海精測、上海睿勵三家企業(yè) 2022 年銷售收入合計約為 7.46 億元，對應中國大陸市場份額不足 3%。若以批量公開招標的華虹無錫為統(tǒng)計樣本，據不完全統(tǒng)計，2022 年華虹無錫完成量/檢測設備招標 47 臺，其中國產設備中標 1 臺，國產化率僅 2%，遠低于去膠機、刻蝕設備、薄膜沉積設備等環(huán)節(jié)。

不過，目前在國內自主可控的趨勢之下，本土檢測設備企業(yè)的技術也快速推進。目前中科飛測多款產品已通過 28nm 產線驗收，2Xnm產線設備正在驗證，1Xnm 產線設備正在研發(fā)。此外，上海精測電子束檢測設備已經進入 1Xnm 驗證，上海睿勵自主研發(fā)的光學薄膜量測設備也已進入 14nm 產線驗證。

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審核編輯 黃宇