為了最大限度地提高生產(chǎn)效率，新的晶圓工廠和正在翻新升級的晶圓工廠選擇采用RFID技術應用在半導體制造業(yè)上，通過RFID技術的非接觸式采集信息特性，對晶圓盒在生產(chǎn)、存儲、運輸過程中進行信息追蹤和管理，提升半導體制造 業(yè)的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質量。

Wafer晶圓盒在半導體生產(chǎn)中主要起到放置盒輸送晶圓的作用，能夠降低在運輸過程中被污染的風險。在半導體生產(chǎn)車間，將TI標簽植入到wafer晶圓盒上，并在TI標簽上記錄著晶圓盒的信息，如尺寸、種類、加工時間/次數(shù)等，RFID讀寫頭JY-V640則是用來讀取wafer晶圓盒的標簽信息，則能夠大大提高生產(chǎn)線上的工作效率。

在半導體生產(chǎn)線上，TI玻璃管標簽部署在晶圓盒上，晶圓盒玻璃管標簽內的材料型號、規(guī)格、加工流程等信息通過RFID讀寫頭進行識別，以準確控制和調整生產(chǎn)過程。RFID讀寫頭還可以支持對晶圓盒的實時監(jiān)控。在生產(chǎn)線上，讀寫器會實時讀取經(jīng)過的晶圓盒標簽信息，并將信息上傳到上位機軟件中。生產(chǎn)管理人員可以隨時了解生產(chǎn)線的運行狀況，及時調整生產(chǎn)計劃，確保生產(chǎn)順利進行。

在晶圓清洗過程中，半導體RFID讀取器讀取清洗區(qū)域的TI玻璃管標簽，以確定晶圓的信息及其到達清洗位置的時間。清洗任務完成后，記錄清洗完成時間，并標記清洗后的硅片。將有關此過程的所有信息上傳到管理系統(tǒng)，以避免過程混亂。

在晶圓盒存儲柜的管理中，RFID讀寫頭嵌入到存儲柜載體平臺的支撐板中。在接入晶圓盒時，RFID讀寫頭會自動將讀取的晶圓盒接入信息和時間上傳到管理系統(tǒng)的數(shù)據(jù)庫進行存儲，并實時更新接入信息。

當晶圓盒放置在半導體電子貨架上時，電子貨架上的RFID讀寫頭會自動讀取玻璃管標簽，采集存儲在電子貨架上的晶圓盒信息，并在前方顯示屏上顯示晶圓產(chǎn)品的部分類型信息；如果RFID讀寫頭在取出晶圓盒后無法讀取該位置的標簽，則會在顯示屏上顯示相應的產(chǎn)品已被取出。

半導體橋式起重機站識別和裝卸管理，在橋式起重機上安裝RFID讀寫頭，在列車軌道節(jié)點上安裝RFID標簽。在進行運輸作業(yè)時，RFID讀寫頭可以讀取軌道節(jié)點處的RFID標簽，以獲取橋式起重機的行駛位置信息?？梢詫蚴狡鹬貦C的位置進行實時動態(tài)監(jiān)控，并可根據(jù)自身位置進行路線規(guī)劃和調度，以保證橋式起重機運行的安全距離和運輸效率。當橋式起重機到達相應點時，RFID讀寫頭將識別目的地的標簽信息，并將該批晶圓信息輸入到目的地的晶圓存儲信息數(shù)據(jù)庫中。工作人員可以在管理系統(tǒng)中快速找到晶圓盒的所有信息。

審核編輯 黃宇