目前蘇州某科技公司的半導(dǎo)體天車目前現(xiàn)階段存在問題：

（1）傳統(tǒng)8寸晶圓加工過程中涉及幾十道工序，目前都是采用人工搬運，容易產(chǎn)生污染物導(dǎo)致晶圓損壞，速度也比較慢，不良率很高。

（2）在半導(dǎo)體制造過程中，天車需要與多種設(shè)備和工序進行協(xié)同與配合。如果不同工序間的協(xié)同不順暢或配合不緊密，可能導(dǎo)致生產(chǎn)效率下降和產(chǎn)品質(zhì)量問題。

晨控提供的解決方案：

（1）在半導(dǎo)體天車的行車軌道節(jié)點上安裝RFID讀寫器CK-S650-PA60S，當(dāng)天車搬運FOUP晶圓盒經(jīng)過軌道節(jié)點時自動識別晶圓盒內(nèi)的TI標(biāo)簽，確保所搬運的晶圓盒信息準確無誤。

（2）FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標(biāo)簽，記錄了晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等，在搬運過程中，RFID讀寫器會將讀取到的信息實時上傳到管理系統(tǒng)。這樣管理人員可以實時掌握晶圓盒的搬運情況，并在必要時進行干預(yù)或調(diào)整，從而提高整體的工作效率。

（3）天車在封閉的軌道內(nèi)運行，可以大大減少晶圓暴露在外界環(huán)境中的風(fēng)險，從而有效避免污染問題，提高產(chǎn)品的良率。

晨控CK-S650系列讀寫器特點

●讀寫器采用高強度的鋁合金外殼，具有識別速度快、準確率高、識別距離適中、組網(wǎng)方便等特點，能完全平替歐姆龍V640系列產(chǎn)品。

●豐富的接口和協(xié)議：RS232/RS485/以太網(wǎng)、支持標(biāo)準工業(yè)半導(dǎo)體HSMS、ModbusTCP協(xié)議,同時還支持1和N協(xié)議。

●操作方便：設(shè)備外置了三個模式開關(guān)選擇器，方便用戶直接設(shè)置工作模式、通信速率以及設(shè)備地址。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議，用戶只需通過RS232/RS485/以太網(wǎng)通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標(biāo)簽的讀取操作，無需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。

審核編輯 黃宇