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我國(guó)首發(fā)8英寸氧化鎵單晶,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迎新突破!

北京中科同志科技股份有限公司 ? 2025-03-07 11:43 ? 次閱讀
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2025年3月5日,杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司(以下簡(jiǎn)稱“鎵仁半導(dǎo)體”)宣布,成功發(fā)布全球首顆第四代半導(dǎo)體氧化鎵8英寸單晶。這一重大突破不僅標(biāo)志著我國(guó)在超寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域取得了國(guó)際領(lǐng)先地位,也為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的全面發(fā)展帶來(lái)了新的機(jī)遇和動(dòng)力。

一、氧化鎵8英寸單晶的技術(shù)突破與意義

氧化鎵(Ga?O?)作為第四代半導(dǎo)體材料的代表,具有超寬的禁帶寬度(約4.8eV),遠(yuǎn)高于第三代半導(dǎo)體材料碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)的禁帶寬度。這一特性使得氧化鎵在高溫、高壓、高功率等極端條件下表現(xiàn)出色,具有極高的應(yīng)用價(jià)值。

鎵仁半導(dǎo)體此次發(fā)布的8英寸氧化鎵單晶,是國(guó)際上首次實(shí)現(xiàn)的大尺寸氧化鎵單晶生長(zhǎng)。此前,氧化鎵單晶的尺寸主要集中在2英寸、4英寸和6英寸,而8英寸單晶的生長(zhǎng)難度極大,對(duì)技術(shù)和設(shè)備的要求極高。鎵仁半導(dǎo)體通過(guò)自主創(chuàng)新的鑄造法,成功攻克了這一技術(shù)難題,實(shí)現(xiàn)了8英寸氧化鎵單晶的穩(wěn)定生長(zhǎng)。

這一技術(shù)突破的意義在于,8英寸氧化鎵單晶能夠與現(xiàn)有硅基芯片廠的8英寸產(chǎn)線兼容,從而顯著加快其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的步伐。同時(shí),氧化鎵襯底尺寸的增大,還可以提升其利用率,降低生產(chǎn)成本,提升生產(chǎn)效率。此外,中國(guó)率先突破8英寸氧化鎵技術(shù)壁壘,不僅標(biāo)志著我國(guó)在超寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步,更為我國(guó)氧化鎵產(chǎn)業(yè)在全球半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)中搶占了先機(jī)。

二、氧化鎵材料的應(yīng)用前景

氧化鎵材料以其獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì),在多個(gè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用前景。

  1. 功率電子器件

氧化鎵材料具有高擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度、低導(dǎo)通電阻等優(yōu)異特性,非常適合用于制作高壓、高功率電子器件。在新能源汽車(chē)、軌道交通、光伏逆變器、大功率通信等高壓、大電流場(chǎng)景中,氧化鎵功率器件能夠顯著提升系統(tǒng)的穩(wěn)定性和效率。例如,在新能源汽車(chē)領(lǐng)域,隨著汽車(chē)高壓化趨勢(shì)日益明顯,氧化鎵制備的功率器件有望將新能源汽車(chē)的充電時(shí)間大幅縮短,從現(xiàn)在的快充30分鐘縮短至7分鐘左右,極大地提升用戶體驗(yàn)。

  1. 光電器件

氧化鎵材料還具有優(yōu)異的紫外透過(guò)率和化學(xué)穩(wěn)定性,適合用于制作深紫外光電器件。在日盲探測(cè)、輻射探測(cè)等特有領(lǐng)域,氧化鎵光電器件具有廣泛的應(yīng)用前景。此外,隨著5G通信、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)的快速發(fā)展,對(duì)高速、高靈敏度光電器件的需求不斷增加,氧化鎵材料在這一領(lǐng)域也將發(fā)揮重要作用。

  1. 射頻器件

氧化鎵材料的高電子遷移率和低介電常數(shù),使其在高頻率、高功率射頻器件領(lǐng)域也展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。在通信基站、雷達(dá)系統(tǒng)等高功率射頻器件中,氧化鎵材料的應(yīng)用將有助于提高系統(tǒng)的性能和可靠性。

三、我國(guó)氧化鎵產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展現(xiàn)狀

近年來(lái),我國(guó)在氧化鎵材料的制備和產(chǎn)業(yè)化方面取得了顯著進(jìn)展。從2英寸到6英寸,再到如今的8英寸,我國(guó)氧化鎵單晶的生長(zhǎng)技術(shù)不斷突破,為氧化鎵產(chǎn)業(yè)鏈的全面發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

  1. 上游材料制備

在氧化鎵單晶的制備方面,我國(guó)已經(jīng)形成了較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈。多家企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)在氧化鎵單晶的生長(zhǎng)技術(shù)、晶體質(zhì)量、晶體尺寸等方面取得了重要進(jìn)展。例如,鎵仁半導(dǎo)體通過(guò)自主創(chuàng)新的鑄造法,成功實(shí)現(xiàn)了8英寸氧化鎵單晶的穩(wěn)定生長(zhǎng);西安郵電大學(xué)新型半導(dǎo)體器件與材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的陳海峰教授團(tuán)隊(duì)也成功在8英寸硅片上制備出了高質(zhì)量的氧化鎵外延片。

  1. 中游器件制造

在氧化鎵器件制造方面,我國(guó)也取得了重要進(jìn)展。多家企業(yè)已經(jīng)開(kāi)始涉足氧化鎵功率器件、光電器件等產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)。隨著氧化鎵單晶生長(zhǎng)技術(shù)的不斷成熟和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程的加速推進(jìn),我國(guó)氧化鎵器件制造產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)更加廣闊的發(fā)展空間。

  1. 下游應(yīng)用拓展

在氧化鎵材料的下游應(yīng)用方面,我國(guó)也在積極探索和拓展。新能源汽車(chē)、軌道交通、光伏逆變器、大功率通信等領(lǐng)域已經(jīng)成為氧化鎵材料的重要應(yīng)用方向。未來(lái),隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用的不斷拓展,氧化鎵材料將在更多領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。

四、氧化鎵8英寸單晶發(fā)布對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈的影響

鎵仁半導(dǎo)體發(fā)布的全球首顆第四代半導(dǎo)體氧化鎵8英寸單晶,將對(duì)整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。

  1. 推動(dòng)氧化鎵產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程

8英寸氧化鎵單晶的發(fā)布,將顯著加快氧化鎵的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。一方面,8英寸單晶能夠與現(xiàn)有硅基芯片廠的8英寸產(chǎn)線兼容,降低生產(chǎn)成本和提高生產(chǎn)效率;另一方面,大尺寸單晶的生長(zhǎng)也將促進(jìn)氧化鎵器件的規(guī)?;a(chǎn)和應(yīng)用推廣。

  1. 提升我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力

氧化鎵作為第四代半導(dǎo)體材料的代表,具有極高的應(yīng)用價(jià)值和市場(chǎng)前景。我國(guó)在氧化鎵單晶生長(zhǎng)技術(shù)方面的突破,將有力提升我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在國(guó)際市場(chǎng)上的競(jìng)爭(zhēng)力。未來(lái),隨著氧化鎵產(chǎn)業(yè)鏈的不斷完善和應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展,我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)更加廣闊的發(fā)展前景。

  1. 帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展

氧化鎵產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。例如,在氧化鎵單晶的生長(zhǎng)過(guò)程中,需要用到高純度的鎵原料和先進(jìn)的生長(zhǎng)設(shè)備;在氧化鎵器件的制造過(guò)程中,需要用到先進(jìn)的封裝測(cè)試技術(shù)和設(shè)備。因此,氧化鎵產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將帶動(dòng)鎵原料、生長(zhǎng)設(shè)備、封裝測(cè)試等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

五、面臨的挑戰(zhàn)與機(jī)遇

盡管我國(guó)在氧化鎵材料的制備和產(chǎn)業(yè)化方面取得了顯著進(jìn)展,但仍面臨一些挑戰(zhàn)和機(jī)遇。

  1. 挑戰(zhàn)

首先,氧化鎵材料的制備成本仍然較高。目前,氧化鎵單晶的生長(zhǎng)主要采用EFG法等高溫高壓方法,對(duì)設(shè)備和原料的要求較高,導(dǎo)致制備成本居高不下。其次,氧化鎵器件的制造工藝和封裝測(cè)試技術(shù)尚不成熟。與硅基器件相比,氧化鎵器件的制造工藝和封裝測(cè)試技術(shù)更加復(fù)雜和困難,需要進(jìn)一步加強(qiáng)研發(fā)和創(chuàng)新。

  1. 機(jī)遇

然而,挑戰(zhàn)與機(jī)遇并存。隨著新能源汽車(chē)、5G通信、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域的快速發(fā)展,對(duì)高效能、高可靠性半導(dǎo)體器件的需求不斷增加。氧化鎵材料以其獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì),在這些領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。因此,我國(guó)應(yīng)抓住這一歷史機(jī)遇,加強(qiáng)氧化鎵材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。

六、結(jié)論與展望

我國(guó)發(fā)布全球首顆第四代半導(dǎo)體氧化鎵8英寸單晶,標(biāo)志著我國(guó)在超寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域取得了國(guó)際領(lǐng)先地位。這一重大突破將為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的全面發(fā)展帶來(lái)新的機(jī)遇和動(dòng)力。未來(lái),我國(guó)應(yīng)繼續(xù)加強(qiáng)氧化鎵材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,推動(dòng)氧化鎵器件在更多領(lǐng)域的應(yīng)用推廣。同時(shí),加強(qiáng)與國(guó)際先進(jìn)企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)的合作與交流,共同推動(dòng)半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步和應(yīng)用的發(fā)展。

在氧化鎵產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過(guò)程中,政府、企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)應(yīng)形成合力,共同推動(dòng)氧化鎵產(chǎn)業(yè)鏈的完善和發(fā)展。政府應(yīng)加大對(duì)氧化鎵產(chǎn)業(yè)的支持力度,制定相關(guān)政策和措施,促進(jìn)氧化鎵產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展;企業(yè)應(yīng)積極投入研發(fā)和創(chuàng)新,提高氧化鎵材料的制備和器件制造水平;科研機(jī)構(gòu)應(yīng)加強(qiáng)基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究,為氧化鎵產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支撐。

相信在不久的將來(lái),我國(guó)將在氧化鎵產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得更加輝煌的成就,為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更大貢獻(xiàn)。

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    電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/梁浩斌)在SiC行業(yè)逐步進(jìn)入8英寸時(shí)代后,業(yè)界并沒(méi)有停下腳步,開(kāi)始投入到12英寸襯底的開(kāi)發(fā)中。 ? 去年11月,天岳先進(jìn)率先出手,發(fā)布了行業(yè)首款12英寸碳化硅襯底
    的頭像 發(fā)表于 05-21 00:51 ?8078次閱讀
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