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實現(xiàn)高度精確的溫度測量設(shè)計

電子設(shè)計 ? 來源:互聯(lián)網(wǎng) ? 作者:佚名 ? 2018-06-19 09:29 ? 次閱讀
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雖然溫度測量對于很多應(yīng)用來說是一項常規(guī)要求,但開發(fā)人員在確保結(jié)果高度準(zhǔn)確方面仍面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)??朔@些挑戰(zhàn)往往會導(dǎo)致設(shè)計過于復(fù)雜以及設(shè)計周期的延長,但新型器件的出現(xiàn)正在不斷降低這種復(fù)雜性。

本文旨在簡單討論一下與開發(fā)精確解決方案相關(guān)的溫度測量要求和挑戰(zhàn)。隨后本文會介紹 Linear Technology LTC2986-1 溫度傳感器,說明該產(chǎn)品如何應(yīng)對這些挑戰(zhàn);最后會向開發(fā)人員展示如何在含有各種溫度傳感器(包括熱電偶、RTD 和熱敏電阻)的典型應(yīng)用中利用這些功能。

溫度測量要求和技術(shù)

在構(gòu)建強大的溫度測量系統(tǒng)時,設(shè)計人員需要利用各類傳感器來滿足其對成本、精度和溫度范圍的特定要求。在這些傳感器類型中,通常會在苛刻的環(huán)境中使用熱電偶,因為它們能夠測量 -265°C 至 1800°C 以上的溫度。

熱電偶所產(chǎn)生的電壓是尖頭與其冷結(jié)(用來構(gòu)成熱電偶的兩條導(dǎo)線的末端)之間溫差的函數(shù)。因此,整體測量精度取決于熱電偶電壓和冷結(jié)的精確測量。

由于 Seebeck 效應(yīng),熱電偶會產(chǎn)生電壓梯度,而其他常見的溫度傳感器還包括電阻溫度檢測器 (RTD)、熱敏電阻和二極管,同時需要激勵電流才能產(chǎn)生隨溫度變化的電壓輸出。作為電阻器件,RTD 和熱敏電阻還需要與激勵電流源串聯(lián)的精密檢測電阻。檢測電阻會與電阻器件形成一個電阻網(wǎng)絡(luò),從而可對通過傳感器的電壓進行輻射計式測量。最后,就各種類型的傳感器而言,開發(fā)人員需要采用相應(yīng)方法,以便使用查找表或方程將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為線性化溫度數(shù)據(jù)。

除了要處理傳感器外,開發(fā)人員在確保溫度測量系統(tǒng)正常運行方面也面臨著多重挑戰(zhàn)。溫度傳感器通常放置在工廠、商業(yè)環(huán)境、建筑物和家中一些環(huán)境較為惡劣的位置,無論在那里,應(yīng)用都要求能夠測量空氣或液體流動中的溫度梯度。在工業(yè)應(yīng)用中,在傳感器和測量系統(tǒng)輸入之間使用長電纜,會使電纜受到電氣噪聲、磨損和外部電壓源影響,可能會損壞傳感器及其測量系統(tǒng)。

工程師采用了各種各樣的方法來處理影響溫度測量系統(tǒng)性能的各種因素。隨著對溫度傳感器需求的不斷增長,傳統(tǒng)方法通常會加大設(shè)計的復(fù)雜度,并且還會增加部署和維護成本。Linear Technology 的 LTC2986-1 能應(yīng)對這些挑戰(zhàn),它可以借助多個傳感器提供精確的溫度測量,開發(fā)人員需要花費的精力也很少。

降低復(fù)雜性

Linear Technology 的 LTC2986-1 是一款多通道溫度測量系統(tǒng),旨在簡化設(shè)計復(fù)雜性,支持大多數(shù)傳感器類型,其中包括熱電偶、RTD、熱敏電阻、二極管和有源模擬溫度傳感器。由于此器件已集成完整的信號路徑、轉(zhuǎn)換、線性化和其他功能,因此開發(fā)人員可借助溫度傳感器本身及一些其他元器件實現(xiàn)高度精確的溫度測量設(shè)計(圖 1)。如下所述,盡管該系列的早期產(chǎn)品(如 Linear Technology LTC2984)可提供更多輸入通道,但 LTC2986-1 能提供其他工作模式,從而實現(xiàn)以獨特的解決方案提高精度。

Linear Technology 的 LTC2986-1 原理圖

圖 1:Linear Technology 的 LTC2986-1 具備十個輸入通道、可編程電流源、內(nèi)置線性化表和故障檢測功能,所以設(shè)計人員可將各種溫度傳感器與其連接。(圖片來源:Linear Technology)

對于 RTD、熱敏電阻和二極管,該器件會自動產(chǎn)生指定電平的激勵電流,測量所得的傳感器電壓,并生成線性化結(jié)果(單元為 °C 或 °F)。LTC2986-1 經(jīng)過預(yù)編程,帶有針對大多數(shù) RTD 和熱敏電阻的轉(zhuǎn)換和線性化數(shù)據(jù)。同樣地,該器件幾乎能對所有標(biāo)準(zhǔn)熱電偶進行預(yù)配置,還能使用 RTD、熱敏電阻、二極管或有源模擬溫度傳感器支持冷結(jié)補償。就溫度測量而言,該器件會自動求解將熱電偶輸出電壓和冷結(jié)測量值轉(zhuǎn)換為實用溫度讀數(shù)所涉及的多項式方程。對于更為常規(guī)的轉(zhuǎn)換要求,開發(fā)人員可使用 LTC2986-1 的模數(shù)轉(zhuǎn)換器 (ADC) 執(zhí)行單端或差分電壓測量,生成原始電壓結(jié)果或利用可編程查找表對結(jié)果進行轉(zhuǎn)換。

除了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)器件的數(shù)據(jù)外,該器件還可與定制 RTD、熱電偶、二極管、有源傳感器和熱敏電阻配合使用。對于定制器件,開發(fā)人員可將查找表加載到存儲器中,該表包含多達 64 個表示傳感器相對溫度輸出值的數(shù)據(jù)點。對于定制熱敏電阻,開發(fā)人員還可直接將多達六個熱敏電阻制造商通常提供的 Steinhart-Hart 系數(shù)加載到該器件。與標(biāo)準(zhǔn)傳感器的內(nèi)置數(shù)據(jù)一樣,該器件在轉(zhuǎn)換過程及軟故障檢測期間會使用這些定制系數(shù)和查找表確認(rèn)最終的溫度插值(圖 2)。

Linear Technology 可使用開發(fā)人員所建查找表的 LTC2986-1 圖形

圖 2:Linear Technology 的 LTC2986-1 可將開發(fā)人員創(chuàng)建的查找表用于定制器件,當(dāng)輸入值超出所提供的輸入數(shù)據(jù)范圍時,會自動報錯。(圖片來源:Linear Technology)

提高精度和保護

對于轉(zhuǎn)換過程,該器件使用多個周期來提升精度。在正常操作中,該器件會是使用兩個周期,已在產(chǎn)生最終溫度結(jié)果之前補償失調(diào)誤差和噪聲。開發(fā)人員也可以用三周期模式使用該器件,即放緩測量速度以獲取某些好處;其中三周期模式和兩周期模式的時間分別約 251 毫秒 (ms) 和 167 ms。

在三周期模式下,該器件可以在第一個周期通過產(chǎn)生電流脈沖來執(zhí)行開路檢測,然后再進行兩個周期的正常轉(zhuǎn)換過程。若該器件在隨后的轉(zhuǎn)換周期內(nèi)檢測到較高電壓,它將會設(shè)置一個狀態(tài)位以報告硬故障,從而指示熱電偶或電纜可能已受損。此外,除開路所致的硬故障外,該器件還能報告多種不同的故障情況(圖 3)。

位故障錯誤類型描述輸出結(jié)果D31傳感器硬故障硬開路、ADC 或冷結(jié)硬故障-999°C 或 °FD30ADC 超范圍硬故障硬ADC 讀數(shù)錯誤(可能混雜外部噪聲事件)-999°C 或 °FD29冷結(jié)硬故障硬冷結(jié)傳感器出現(xiàn)硬故障錯誤-999°C 或 °FD28冷結(jié)軟故障軟冷結(jié)傳感器結(jié)果超出正常范圍可疑讀數(shù)D27傳感器過壓軟熱電偶讀數(shù)高于上限可疑讀數(shù)D26傳感器欠壓軟熱電偶讀數(shù)低于下限可疑讀數(shù)D25ADC 超范圍軟ADC 絕對輸入電壓超過 ±1.125 × VREF/2可疑讀數(shù)D24有效不適用結(jié)果有效(應(yīng)為 1),如果為 0,則放棄結(jié)果有效讀數(shù)

圖 3:Linear Technology 的 LTC2986-1 可為所有傳感器讀數(shù)生成硬故障和軟故障,還能提供與熱電偶傳感器相關(guān)的冷結(jié)測量附加結(jié)果,如圖所示。(圖片來源:Linear Technology)

除了保護應(yīng)用免受傳感器故障影響外,開發(fā)人員通常還會采用設(shè)計技術(shù)專門來保護測量系統(tǒng)本身。溫度傳感器通常會用于惡劣環(huán)境。諸如熱電偶之類的傳感器通常完全外露,以便為測量系統(tǒng)的輸入提供可接入的導(dǎo)電路徑。即便使用 RTD 或熱敏電阻等封裝傳感器,電纜也有可能受損,進而導(dǎo)致引線可能出現(xiàn)高壓短路或彼此之間的短路。最后,即使是非常細(xì)心的操作員和技術(shù)人員也會不小心做出錯誤的電纜連接,尤其是在可與不同傳感器類型的通用硬件連接配合使用的應(yīng)用中。

為了保護測量系統(tǒng)不出現(xiàn)過壓情況,開發(fā)人員通常會在測量系統(tǒng)的傳感器和輸入通道之間放置限流電阻。通常情況下,設(shè)計人員會增加電容器以建立低通濾波器,進而減弱噪聲源。這些濾波器會延長建立時間,在使用激勵電流脈沖的方法(如上文所述的 LTC2986-1 轉(zhuǎn)換過程)中運用這些濾波器特別有問題。除了建立時間會增加復(fù)雜度外,保護電阻的使用也會影響測量精度。

LTC2986-1 所提供的功能和工作模式專為減輕保護電阻的次要不利影響而設(shè)計。例如,為了抵消因器件輸入端的較大濾波器所致的建立時間延長,開發(fā)人員可在該器件的輸入多路復(fù)用器開關(guān)時間中編程加入附加延遲。假如可能會對結(jié)果產(chǎn)生更大影響,該器件獨特的激勵電流模式可解決更多與保護電阻相關(guān)的串聯(lián)電阻的基本問題。

雖然保護電阻對于確保安全而言至關(guān)重要,但是用于像 RTD 或熱敏電阻這樣的任何電阻器件時很有問題。在兩端子電阻器件中,當(dāng)激勵電流流經(jīng)保護元件的附加串聯(lián)電阻時,添加保護電阻會影響電壓測量。由于傳感器是電阻器,開發(fā)人員通常也要面臨將傳感器電阻與保護電阻及其引線相關(guān)的附加串聯(lián)電阻分開的挑戰(zhàn)。

為了解決此問題,工程師采用 3 線 RTD,并在 RTD 端子和外加電線之間使用電阻來測量引線電阻。當(dāng)然,這種方法需要仔細(xì)匹配引線長度和串聯(lián)電阻以確保其精度。為避免出現(xiàn)匹配問題,采用 4 線式或開爾文檢測,在每個端子上使用電阻器可能是更好的解決方案(圖 4)。

傳統(tǒng) 4 線 RTD 原理圖

圖 4:傳統(tǒng) 4 線 RTD 允許電流繞過用于保護測量通道的串聯(lián)電阻(此圖中的 CH3 和 CH4),因此通過這些通道的漏電電流非常低,進而能將測量誤差控制在有限范圍。(圖片來源:Linear Technology)

在此配置中,電流通過的路徑(圖 4 中的 CH1 至 CH5)不涉及測量通道(CH3 和 CH4)上的串聯(lián)保護電阻。流經(jīng)測量通道的所有電流均僅限于器件的漏電電流。由于 LTC2986-1 的輸入漏電電流小于 1 納安 (nA),相關(guān)的測量誤差通常會遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于任何所需的分辨率水平。

不過,若是借助 LTC2986-1,此方法便不再受限于 4 線 RTD。工程師可以對器件進行配置,使用 3 線 RTD、2 線 RTD 和熱敏電阻執(zhí)行開爾文檢測。

對于各種此類傳感器,LTC2986-1 可提供獨特的激勵模式,即將相鄰?fù)ǖ烙米麟娏髀窂?。為了實現(xiàn)這種模式,開發(fā)人員需在每個傳感器端子和獨立的 LTC2986-1 輸入之間連接一個附加保護電阻。然后,僅需在 LTC2986-1 配置寄存器中設(shè)置位并正確配置輸入通道,即可啟用這一附加電流路徑(圖 5)。與更為傳統(tǒng)的 4 線器件一樣,激勵電流可躲開測量通道,從而減少測量誤差。

Linear Technology 的 LTC2986-1 相鄰?fù)ǖ涝韴D

圖 5:開發(fā)人員可以將 Linear Technology 的 LTC2986-1 配置為使用相鄰?fù)ǖ雷鳛榧铍娏髀窂?,從而?2 線 RTD 和熱敏電阻帶來開爾文檢測的優(yōu)勢。(圖片來源:Linear Technology)

無論設(shè)計人員是否使用這種替代激勵模式,他們在采用 LTC2986-1 設(shè)置傳感器時仍需遵循基本協(xié)議。為了實現(xiàn)傳感器連接,他們需要對通道進行分配并利用傳感器配置數(shù)據(jù)加載相關(guān)的存儲器位置(圖 6)。此通道分配數(shù)據(jù)會駐留在 RAM 中的連續(xù)位置,并與該器件的十個輸入通道一一對應(yīng)。對 RAM 進行編程后,開發(fā)人員可以在器件內(nèi)置的 EEPROM 中保存配置,以便在隨后的掉電或休眠周期后進行恢復(fù)。

Linear Technology 的 LTC2986-1 通道分配數(shù)據(jù)塊原理圖

圖 6:為了配置 Linear Technology 的 LTC2986-1,開發(fā)人員需創(chuàng)建包含相關(guān)傳感器詳細(xì)信息的通道分配數(shù)據(jù)塊。(圖片來源:Linear Technology)

在存儲器的各個通道分配數(shù)據(jù)塊內(nèi),開發(fā)人員需定義傳感器配置的詳細(xì)信息,包括傳感器類型、通道、傳感器配置、激勵電流以及標(biāo)準(zhǔn)或定制轉(zhuǎn)換信息的預(yù)定義值。以下所示為圖 6 左上角所示 PT-100 RTD 器件的存儲器映射(圖 7)。

PT-100 RTD 的相關(guān)存儲器映射表

圖 7:通道分配數(shù)據(jù)包含每個傳感器的相關(guān)配置細(xì)節(jié)——此處為圖 6 左上角所示 PT-100 RTD 的相關(guān)存儲器映射。(圖片來源:Linear Technology)

只有仔細(xì)關(guān)注每個細(xì)節(jié),才能在復(fù)雜的多傳感器溫度系統(tǒng)中為每個通道配置合適的存儲器映射。由于該器件具備適合各種傳感器和傳感器類型的內(nèi)置支持,開發(fā)人員則需確保為其特定的傳感器選擇正確的代碼。配置錯誤可能會對結(jié)果產(chǎn)生嚴(yán)重影響。

為免于手動配置,Linear Technology 可提供基于 Windows? 的免費 LTC2986 演示軟件程序,如此一來,開發(fā)人員便能利用下拉菜單選項為每個通道指定配置。開發(fā)人員可以從演示板或 LTC2986-1 規(guī)格書中所示特定圖表,加載配置示例(圖 8)。

Linear Technology 的 LTC2986 演示軟件圖片

圖 8:Linear Technology LTC2986 演示軟件可簡化器件的使用方式,即為相關(guān)硬件開發(fā)板提供預(yù)定義配置下拉菜單選擇,以及加載 LTC2986-1 規(guī)格書中的示例。(圖片來源:Linear Technology)

例如,上文圖 6 所示的兩個 4 線 RTD 配置就取自 LTC2986-1 規(guī)格書中的圖 22。從該程序的配置下拉菜單中選擇該圖即可為該配置生成相應(yīng)的設(shè)置(圖 9)。

Linear Technology 的 LTC2986 演示軟件圖片

圖 9:Linear Technology 的 LTC2986 演示軟件可依次產(chǎn)生用于生成通道分配數(shù)據(jù)的詳細(xì)配置。(圖片來源:Linear Technology)

除了簡化配置創(chuàng)建外,該程序還能對定制配置進行評估以確保分配正確無誤。最重要的是,該程序還可生成一組相應(yīng)的 C 語言頭文件和軟件例程,而且都能在 Linear Technology 的 DC2026 Arduino 兼容的 Linduino One 板上執(zhí)行,處理起來毫不費力。

例如,圖 9 所示配置生成的 C 代碼會自動生成初始化例程,其中包含實現(xiàn)所需存儲器映射的軟件分配(如圖 7 所示)。正如列表 1 所示,生成的代碼會使用隨附的一組已定義常數(shù)來創(chuàng)建相應(yīng)的通道分配語句(列表 1)。

...

void configure_channels()

{

uint8_t channel_number;

uint32_t channel_assignment_data;

// ----- Channel 2: Assign Sense Resistor -----

channel_assignment_data =

SENSOR_TYPE__SENSE_RESISTOR |

(uint32_t) 0x9C4000 << SENSE_RESISTOR_VALUE_LSB;??????????? // sense resistor - value: 10000.

assign_channel(CHIP_SELECT, 2, channel_assignment_data);

// ----- Channel 4: Assign RTD PT-100 -----

channel_assignment_data =

SENSOR_TYPE__RTD_PT_100 |

RTD_RSENSE_CHANNEL__2 |

RTD_NUM_WIRES__4_WIRE |

RTD_EXCITATION_MODE__ROTATION_SHARING |

RTD_EXCITATION_CURRENT__100UA |

RTD_STANDARD__ITS_90;

assign_channel(CHIP_SELECT, 4, channel_assignment_data);

// ----- Channel 7: Assign RTD PT-500 -----

channel_assignment_data =

SENSOR_TYPE__RTD_PT_500 |

RTD_RSENSE_CHANNEL__2 |

RTD_NUM_WIRES__4_WIRE |

RTD_EXCITATION_MODE__NO_ROTATION_SHARING |

RTD_EXCITATION_CURRENT__50UA |

RTD_STANDARD__AMERICAN;

assign_channel(CHIP_SELECT, 7, channel_assignment_data);

}

...

// -------------- Run the LTC2986 -------------------------------------

void loop()

{

measure_channel(CHIP_SELECT, 4, TEMPERATURE); // Ch 4: RTD PT-100

measure_channel(CHIP_SELECT, 7, TEMPERATURE); // Ch 7: RTD PT-500

}

列表 1:Linear Technology 的 LTC2986 演示軟件程序生成的代碼會自動產(chǎn)生通道分配語句,包括與圖 7 所示存儲器映射對應(yīng)的通道 4 分配。(代碼來源:Linear Technology)

無論是采用 Linduino 平臺還是其他硬件,所生成的代碼集都會展示與使用 LTC2986-1 相關(guān)的主要設(shè)計模式。例如,列表 1 中的代碼片段顯示了數(shù)據(jù)采集的基本回路。只要查閱生成的代碼,開發(fā)人員便能檢查器件使用所涉及的具體操作。例如,列表 1 中顯示的頂級函數(shù) x measure_channel 會調(diào)用訪問器件寄存器的低級例程來啟動轉(zhuǎn)換,等待完成,然后讀取結(jié)果(列表 2)。在此例中,所生成的程序只是將結(jié)果打印到控制臺,但開發(fā)人員可以輕松為其應(yīng)用修改該代碼。

// *****************

// Measure channel

// *****************

void measure_channel(uint8_t chip_select, uint8_t channel_number, uint8_t channel_output)

{

convert_channel(chip_select, channel_number);

get_result(chip_select, channel_number, channel_output);

}

void convert_channel(uint8_t chip_select, uint8_t channel_number)

{

// Start conversion

transfer_byte(chip_select, WRITE_TO_RAM, COMMAND_STATUS_REGISTER, CONVERSION_CONTROL_BYTE | channel_number);

wait_for_process_to_finish(chip_select);

}

...

void wait_for_process_to_finish(uint8_t chip_select)

{

uint8_t process_finished = 0;

uint8_t data;

while (process_finished == 0)

{

data = transfer_byte(chip_select, READ_FROM_RAM, COMMAND_STATUS_REGISTER, 0);

process_finished = data & 0x40;

}

}

// *********************************

// Get results

// *********************************

void get_result(uint8_t chip_select, uint8_t channel_number, uint8_t channel_output)

{

uint32_t raw_data;

uint8_t fault_data;

uint16_t start_address = get_start_address(CONVERSION_RESULT_MEMORY_BASE, channel_number);

uint32_t raw_conversion_result;

raw_data = transfer_four_bytes(chip_select, READ_FROM_RAM, start_address, 0);

Serial.print(F("\nChannel "));

Serial.println(channel_number);

// 24 LSB's are conversion result

raw_conversion_result = raw_data & 0xFFFFFF;

print_conversion_result(raw_conversion_result, channel_output);

// If you're interested in the raw voltage or resistance, use the following

if (channel_output != VOLTAGE)

{

read_voltage_or_resistance_results(chip_select, channel_number);

}

// 8 MSB's show the fault data

fault_data = raw_data >> 24;

print_fault_data(fault_data);

}

列表 2:Linear Technology 的 LTC2986 演示軟件可生成 Linduino 就緒代碼,包括旨在執(zhí)行器件通道低級訪問的支持例程,如此代碼片段所示。(代碼來源:Linear Technology)

借助該軟件,開發(fā)人員可使用 Linear Technology DC2608A 套件快速啟動 LTC2986-1 硬件開發(fā)。DC2618 套件旨在與 Linduino 配合使用,提供含有 LTC2986-1 的演示板和試驗板。與 LTC2986 演示軟件結(jié)合使用時,此套件便能為快速開發(fā)溫度感測應(yīng)用提供一個平臺。

總結(jié)

溫度測量系統(tǒng)通常需要在苛刻的環(huán)境下工作,這就為開發(fā)人員帶來了一系列挑戰(zhàn),保護機制與測量精度之間的沖突便是其中之一。借助 LTC2986-1 和相關(guān)開發(fā)工具,工程師現(xiàn)在可以快速實現(xiàn)既安全、又精確的溫度測量系統(tǒng)。

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    的頭像 發(fā)表于 02-12 09:56 ?812次閱讀

    臺階儀在ZnO/Au復(fù)合薄膜表征中的應(yīng)用:膜厚精確測量與表面形貌分析

    ”識別能力,為痕量分析提供了新途徑。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量,精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚,為材料質(zhì)量把
    的頭像 發(fā)表于 02-02 18:04 ?525次閱讀
    臺階儀在ZnO/Au復(fù)合薄膜表征中的應(yīng)用:膜厚<b class='flag-5'>精確</b><b class='flag-5'>測量</b>與表面形貌分析

    Thermometrics Surface Mount Foam Sensor (SMF):精確溫度監(jiān)測的理想之選

    泡沫(SMF)傳感器.pdf 產(chǎn)品概述 Thermometrics的Surface Mount Foam Sensor (SMF) 是一款高度適配的傳感器,專為直接安裝在幾乎任何表面而設(shè)計,能夠提供精確溫度監(jiān)測。它獨特的設(shè)計使
    的頭像 發(fā)表于 12-10 10:25 ?620次閱讀

    醫(yī)療用NTC熱敏電阻與體表溫度測量

    臨床醫(yī)學(xué)中,體溫是重要的生理參數(shù)之一,病人的體溫可以為醫(yī)生提供其生理狀態(tài)的重要信息。由于醫(yī)療體溫監(jiān)測的精度要求高,這就需要加入醫(yī)療用NTC熱敏電阻精確測量人體體表溫度以獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。
    的頭像 發(fā)表于 11-24 15:25 ?405次閱讀

    NIST研究院:表面粗糙度與臺階高度校準(zhǔn)規(guī)范

    與臺階高度精確計量提供了技術(shù)依據(jù)與權(quán)威支撐。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量,精確測定樣品的
    的頭像 發(fā)表于 11-19 18:02 ?1132次閱讀
    NIST研究院:表面粗糙度與臺階<b class='flag-5'>高度</b>校準(zhǔn)規(guī)范

    ?高壓隔離探頭在能源變換系統(tǒng)中的精確測量應(yīng)用方案?

    發(fā)電系統(tǒng)的直流側(cè)精確測量方案 ?? 技術(shù)挑戰(zhàn)與測量需求?? 在1500V組串式光伏系統(tǒng)中,直流母線電壓測量面臨多重挑戰(zhàn): 高共模電壓:組件對地電壓可達1000V DC 復(fù)雜紋波特性:M
    的頭像 發(fā)表于 11-11 13:35 ?340次閱讀

    臺階儀在表面計量學(xué)的應(yīng)用:基于表面紋理最大高度S±3σ的表征研究

    表面形貌的平均高度與最大幅度直接影響零部件的使用功能。工業(yè)中常通過二維輪廓測量獲取相關(guān)參數(shù),但輪廓最大高度存在較大波動性。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)
    的頭像 發(fā)表于 10-17 18:03 ?695次閱讀
    臺階儀在表面計量學(xué)的應(yīng)用:基于表面紋理最大<b class='flag-5'>高度</b>S±3σ的表征研究

    衍射光學(xué)元件DOE:臺階高度與位置誤差的測量

    提供提供精準(zhǔn)測量解決方案,F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量,精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚,
    的頭像 發(fā)表于 09-17 18:03 ?856次閱讀
    衍射光學(xué)元件DOE:臺階<b class='flag-5'>高度</b>與位置誤差的<b class='flag-5'>測量</b>

    臺階高度測量標(biāo)準(zhǔn)丨在臺階儀校準(zhǔn)下半導(dǎo)體金屬鍍層實現(xiàn)測量誤差&amp;lt;1%

    在半導(dǎo)體芯片制造過程中,臺階結(jié)構(gòu)的精確測量至關(guān)重要,通常采用白光干涉儀或步進儀等非接觸式測量設(shè)備進行監(jiān)控。然而,SiO?/Si臺階高度標(biāo)準(zhǔn)在測量
    的頭像 發(fā)表于 07-22 09:53 ?1001次閱讀
    臺階<b class='flag-5'>高度</b>的<b class='flag-5'>測量</b>標(biāo)準(zhǔn)丨在臺階儀校準(zhǔn)下半導(dǎo)體金屬鍍層<b class='flag-5'>實現(xiàn)</b><b class='flag-5'>測量</b>誤差&amp;lt;1%

    觸針式輪廓儀 | 臺階儀 | 納米級多臺階高度的精準(zhǔn)測量

    臺階高度作為納米結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵參數(shù),其測量精度直接影響相關(guān)研究與應(yīng)用。本文利用觸針式輪廓儀對三臺階高度樣品進行測量與表征的方法。原始測量數(shù)據(jù)通過
    的頭像 發(fā)表于 07-22 09:52 ?924次閱讀
    觸針式輪廓儀 | 臺階儀 | 納米級多臺階<b class='flag-5'>高度</b>的精準(zhǔn)<b class='flag-5'>測量</b>

    泰克MSO64實現(xiàn)微伏級紋波測量與諧波精確定位的方法探究

    紋波測量與諧波分析在電源設(shè)計、電子器件測試以及信號完整性驗證等領(lǐng)域中至關(guān)重要。泰克MSO64系列混合信號示波器以其高分辨率、低噪聲和強大的分析功能,成為進行微伏級紋波測量與諧波精確定位的理想工具
    的頭像 發(fā)表于 07-01 17:59 ?878次閱讀
    泰克MSO64<b class='flag-5'>實現(xiàn)</b>微伏級紋波<b class='flag-5'>測量</b>與諧波<b class='flag-5'>精確</b>定位的方法探究
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