1 鈣鈦礦電池死區(qū)寬度成因及工藝影響

鈣鈦礦電池組件規(guī)?；a(chǎn)中，激光刻蝕形成的邊緣無效區(qū)域即為電池死區(qū)，主要位于P1、P2、P3刻蝕溝槽邊緣及電池片串間銜接位置。死區(qū)無光電發(fā)電能力，僅承擔(dān)絕緣隔離與電路導(dǎo)通作用，其寬度尺寸直接決定組件有效受光面積大小。死區(qū)寬度越寬，電池有效發(fā)電區(qū)域占比越小，幾何填充因子GFF數(shù)值隨之降低，直接制約組件光電轉(zhuǎn)換效率與量產(chǎn)功率增益。刻蝕工藝偏差、邊緣形貌毛刺、薄膜層殘留及溝槽側(cè)壁輪廓不規(guī)則，均會造成死區(qū)寬度一致性差、實際尺寸偏離設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，精準(zhǔn)把控死區(qū)寬度并嚴(yán)控全域均勻性，是提升GFF、拔高鈣鈦礦電池量產(chǎn)發(fā)電性能的核心關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

2 傳統(tǒng)死區(qū)寬度測量方式現(xiàn)存不足

當(dāng)前鈣鈦礦行業(yè)常規(guī)檢測手段難以滿足死區(qū)寬度高精度精細(xì)化管控需求。普通光學(xué)顯微鏡僅能完成二維平面目視觀測，只能粗略估測死區(qū)宏觀寬度，無法識別邊緣微觀毛刺、薄膜臺階起伏帶來的實際有效死區(qū)偏差，測量精度低、數(shù)據(jù)重復(fù)性差。接觸式輪廓儀易劃傷鈣鈦礦功能性薄膜，破壞電池樣品完整性，且僅能單點采集輪廓數(shù)據(jù)，無法匹配全域死區(qū)邊緣形貌同步檢測需求。傳統(tǒng)測量模式無法同步關(guān)聯(lián)寬度尺寸與表面微觀形貌，難以為工藝微調(diào)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)，嚴(yán)重制約GFF優(yōu)化提升效率。

3 白光干涉高精度測量賦能GFF優(yōu)化升級

白光干涉儀依托非接觸短相干干涉測量技術(shù)，專為鈣鈦礦電池死區(qū)寬度檢測打造高精度一體化測量方案。設(shè)備無需接觸樣品，全程無損保護(hù)電池薄膜結(jié)構(gòu)，單次掃描即可精準(zhǔn)標(biāo)定死區(qū)實際邊緣邊界，快速測量全域死區(qū)寬度數(shù)值，同步采集邊緣三維形貌、臺階高度及側(cè)壁粗糙度等關(guān)聯(lián)參數(shù)。通過3D形貌可視化成像與量化數(shù)據(jù)分析，可精準(zhǔn)識別刻蝕殘留、邊緣畸變等造成的死區(qū)超標(biāo)問題，為激光刻蝕功率、掃描速度等工藝參數(shù)調(diào)校提供直觀數(shù)據(jù)依據(jù)，持續(xù)壓縮無效死區(qū)寬度、提升電池有效受光面積，穩(wěn)步優(yōu)化幾何填充因子GFF，助力鈣鈦礦電池組件量產(chǎn)性能提質(zhì)增效。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案。

大視野3D白光干涉儀——涂層表征納米級測量解決方案

突破傳統(tǒng)測量局限，定義涂層表征新范式！大視野3D白光干涉儀依托核心創(chuàng)新技術(shù)，一機解鎖納米級全場景測量，以高效與精密兼具的優(yōu)勢，適配各類涂層表征檢測需求，重新詮釋工業(yè)涂層精密測量的核心標(biāo)準(zhǔn)。

核心優(yōu)勢：大視野+高精度，賦能涂層精準(zhǔn)表征

打破行業(yè)常規(guī)壁壘，徹底解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡僅能單孔使用、需兩臺儀器分別實現(xiàn)大視野觀測與高精度測量的痛點。本設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野，搭配可兼容4個物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪，一臺設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求，可通過拼接實現(xiàn)大視野觀察涂層表面質(zhì)量，高效適配涂層表征復(fù)雜檢測場景，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測效率與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度。

涂層表征實測應(yīng)用圖示

（圖示為實測涂層厚度，精準(zhǔn)測得75.2nm，為涂層厚度一致性管控提供可靠數(shù)據(jù)支撐）

（圖示為涂層厚度專項測量，清晰呈現(xiàn)涂層厚度分布，助力涂層工藝優(yōu)化）

（圖示為涂層劃痕分析，測得劃痕厚度1.96μm，精準(zhǔn)捕捉涂層劃痕細(xì)節(jié)，為涂層缺陷檢測與耐用性評估提供依據(jù)）

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審核編輯 黃宇