在納米級(jí)精密的半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)鏈中，清洗設(shè)備并非輔助配角，而是貫穿晶圓加工全流程的核心工藝裝備，更是芯片良率的 “隱形守護(hù)者”。

晶圓生產(chǎn)中，化學(xué)液如同血液貫穿各環(huán)節(jié)，酸、堿、有機(jī)研磨液等化學(xué)品的高純度、高穩(wěn)定性與高一致性，是保障芯片良率的關(guān)鍵指標(biāo)，而集中供應(yīng)系統(tǒng)則讓這些指標(biāo)實(shí)現(xiàn)流程化、可復(fù)制、可追溯。

設(shè)備以原子級(jí)潔凈為標(biāo)準(zhǔn)，依托物理、化學(xué)及復(fù)合清洗技術(shù)，為光刻、刻蝕、沉積、離子注入、CMP 等關(guān)鍵工序提供潔凈、無損且均勻的晶圓表面，直接決定芯片的最終性能、長(zhǎng)期可靠性與量產(chǎn)良率。

應(yīng)用挑戰(zhàn)

清洗槽底部通常裝有加熱器，若液位過低導(dǎo)致加熱器暴露在空氣中，易引發(fā)干燒故障，不僅會(huì)損壞設(shè)備核心部件，更可能引發(fā)安全事故;反之，液位過低會(huì)導(dǎo)致晶圓(硅片)浸沒不充分，直接造成清洗不徹底，影響后續(xù)工序與芯片良率;而液位過高則可能導(dǎo)致藥液溢出，既浪費(fèi)高價(jià)值的化學(xué)清洗液，又會(huì)污染半導(dǎo)體車間的潔凈環(huán)境。

更需注意的是，強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性清洗液一旦溢出，不僅會(huì)污染車間，還會(huì)腐蝕周邊設(shè)備、危害操作人員人身安全，多重風(fēng)險(xiǎn)亟待準(zhǔn)確管控。

解決方案

倍加福電容傳感器憑借非接觸、高精度、耐酸堿、無機(jī)械磨損的核心優(yōu)勢(shì)，成為濕法清洗設(shè)備的“感知神經(jīng)”，讓原子級(jí)潔凈管控可防、可控、可溯。

電容傳感器是指將被測(cè)量(例如與被測(cè)物之間的距離)的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，由兩塊極板+電容極板間的介質(zhì)組成，當(dāng)有物體靠近時(shí)，物體的介電常數(shù)與空氣不同，就會(huì)改變整個(gè)電容的值，從而觸發(fā)回路輸出。

針對(duì)半導(dǎo)體清洗場(chǎng)景，清洗槽多采用PE/PTFE材質(zhì)，清洗液多為強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕性介質(zhì)，倍加福電容傳感器采用外裝不觸液設(shè)計(jì)，可輕松穿透10mm以上槽體壁厚，準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)液位高低點(diǎn)判定，既能替代高成本的差壓式/投入式儀表，又能從根源上規(guī)避介質(zhì)腐蝕傳感器、造成交叉污染的行業(yè)痛點(diǎn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

電容式傳感器檢測(cè)范圍靈活適配 0-15mm，采用寬電壓供電設(shè)計(jì)，可穩(wěn)定支持 10…30V DC 工作電壓。

圓柱型 M30 系列：自帶旋鈕電位器，在傳感器本體即可快速調(diào)節(jié)，操作高效便捷;

方型 F46 電纜示教款：支持通過線纜實(shí)現(xiàn)液位示教，示教線接入系統(tǒng)后，直接在操作面板完成參數(shù)設(shè)定，無需操作人員前往安裝工位，大幅提升現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試效率。

產(chǎn)品特性亮點(diǎn)

非接觸，不污染晶圓

耐腐蝕、不滲漏、壽命長(zhǎng)

高精度、響應(yīng)快、控制準(zhǔn)確

安裝簡(jiǎn)單，不用開孔破壞槽體

關(guān)于倍加福

倍加福–未來自動(dòng)化的驅(qū)動(dòng)者和創(chuàng)新者

倍加福以德國(guó)曼海姆為公司總部，憑借其持續(xù)不斷的對(duì)創(chuàng)新技術(shù)的研發(fā)，向全球工廠自動(dòng)化和過程行業(yè)的客戶提供豐富而多樣的產(chǎn)品，致力于自動(dòng)化行業(yè)的傳統(tǒng)應(yīng)用和面向未來的應(yīng)用。同時(shí)，倍加福不斷推動(dòng)前瞻性技術(shù)的開發(fā)，為客戶迎接即將來臨的工業(yè) 4.0 的挑戰(zhàn)鋪平了道路。