當流體細如發(fā)絲，每分鐘僅流過幾滴液體，傳統(tǒng)流量計紛紛失效：浮子式卡滯、渦輪式轉不動、超聲波式信號淹沒在噪聲中……

這不是實驗室的極端假設，而是半導體涂膠、生物試劑分配、微反應器控制等場景中的日常挑戰(zhàn)。

而國內市場上能精準測量微小液體流量的傳感器，鳳毛麟角。

奧松此前已成功推出多款液體流量計，憑借出色的性能與可靠的品質，贏得了市場上廣大客戶的一致好評。延續(xù)這一技術積淀，ALS1005微流量液體流量傳感器專為0.25~5 mL/min的微小流量設計。它依托奧松自主研發(fā)的高靈敏度MEMS芯片與24位ADC，采用熱對流測量原理，直接感應流體流過微型加熱器時上下游產(chǎn)生的溫差變化。該溫差與流量之間存在精確的函數(shù)關系，從而實現(xiàn)對mL級乃至μL級液體流量的高精度測量。

核心性能直擊痛點

重復性：<±1.0% 滿足定量分配的嚴苛要求;

無活動部件：沒有葉輪、浮子或膜片，從根本上避免了卡滯、污染和磨損問題，尤其適合長期連續(xù)運行或含有微小顆粒的液體。

快速響應，實時監(jiān)測：集成MEMS傳感與數(shù)字信號處理，響應迅速，支持瞬時流量、累計流量及介質溫度同步輸出。配備LCD顯示屏，無需連接上位機即可直觀讀取實時流量與溫度數(shù)據(jù)，便于現(xiàn)場調試、巡檢與快速故障判斷。

高承壓與良好兼容性：液路最大承壓 0.68 MPa，接觸液體材質為316不銹鋼毛細管，能夠安全、穩(wěn)定、持久地應用于對材料性能要求嚴苛的領域，適配多種工業(yè)介質。

低功耗，易于集成：供電 5 VDC，消耗電流<200 mA，標準 IIC數(shù)字輸出，便于嵌入式系統(tǒng)快速對接。

市場上同等量程、同等精度的液體流量傳感器，并不多見。ALS1005具有高精度、快速響應、無活動部件、抗污染能力強等特點，是半導體精密制造、生物醫(yī)藥、體外診斷等高端領域實現(xiàn)國產(chǎn)替代的優(yōu)選方案。

賦能多領域高端裝備

半導體精密制造

光刻膠涂覆：在晶圓旋涂過程中，光刻膠的供給微流量需進行精確控制。ALS1005實時監(jiān)測膠液流量，閉環(huán)調節(jié)泵閥，確保膜厚均勻性，減少缺陷。

濕法刻蝕與清洗：刻蝕液、清洗液的微小流量波動會直接影響關鍵尺寸(CD)均勻性。傳感器實時反饋，助力工藝腔體維持穩(wěn)定流體狀態(tài)。

精密冷卻系統(tǒng)：在光刻機、電子束曝光設備中，微量冷卻液的流量監(jiān)測保障熱管理精度，避免局部過熱導致精度漂移。

醫(yī)療健康與體外診斷

體外診斷與即時診斷：在免疫分析、生化分析儀等設備中，樣本和試劑的單次加樣量通常極其微小，對加樣重復性要求極高。ALS1005可實時監(jiān)測每次加樣的實際流量，確保每次加樣高度一致，從而提升檢測結果的可靠性與穩(wěn)定性。

生物反應器過程控制：哺乳細胞灌流培養(yǎng)過程中，營養(yǎng)液及代謝廢液的低流量交換需要長期穩(wěn)定監(jiān)測。

藥物輸送系統(tǒng)：微量注射泵、胰島素泵等設備中，ALS1005可作為閉環(huán)反饋元件，防止輸注過量或堵塞。

環(huán)境監(jiān)測與低碳技術

水質監(jiān)測布控：在線分析儀中對水樣與試劑的定量抽取需高精度控制。ALS1005耐受一定污染物，長期穩(wěn)定性好，適用于地表水、污水站的無人值守監(jiān)測。

碳捕集與封存：在胺液循環(huán)吸收CO?的工藝中，吸收劑與再生液的微小流量差異可反映吸收效率。傳感器可安裝于旁路，實時提供流量數(shù)據(jù)，輔助系統(tǒng)優(yōu)化。

實驗分析與高端儀器

色譜/質譜儀進樣系統(tǒng)：液相色譜中流動相梯度形成依賴精確的低流量控制。ALS1005可置于泵后檢測，校驗泵的流量準確性，或用于微流控柱前衍生系統(tǒng)。

微流控科研平臺：器官芯片、液滴生成等前沿實驗中，流體驅動源(注射泵、氣壓泵)的實際流量易受背壓影響。集成ALS1005后可實時標定，提升實驗重復性。

自動化液體處理工作站：在藥物篩選、基因組學等高通量移液場景中，每個通道的微小流量可被獨立監(jiān)測，防止吸頭堵塞或管路漏氣導致的加液失敗。