在很多工程現(xiàn)場，真正難的不是“測流量”，而是測“極小的液體流量”：流體細如發(fā)絲、每分鐘只有幾滴的量級，浮子式容易卡滯，渦輪式低速轉(zhuǎn)不起來，超聲波式又可能被噪聲和管路條件淹沒。

這些并非“實驗室極端情況”，而是半導體涂膠、生物試劑分配、微反應器/微流控系統(tǒng)等應用中的日常需求。

面向國內(nèi)可選方案相對有限的現(xiàn)狀，奧松在既有液體流量計產(chǎn)品基礎上推出 ALS1005 微流量液體流量傳感器，針對 0.25~5 mL/min 小流量段做了專門設計，主打高重復性、快速響應與長期可靠性，適合做設備端閉環(huán)控制與在線監(jiān)測。

1）測量原理與系統(tǒng)構(gòu)成：熱對流 + 高靈敏 MEMS + 24位 ADC

ALS1005 采用熱對流測量原理：液體流經(jīng)微型加熱器時，上下游溫度分布會發(fā)生變化；該溫差與流量之間存在穩(wěn)定的函數(shù)關(guān)系。

傳感器內(nèi)部結(jié)合 高靈敏度 MEMS 芯片 與 24位 ADC，可實現(xiàn) mL 級乃至 μL 級流量的高精度測量與數(shù)字化輸出，適合嵌入式系統(tǒng)直接讀取與控制。

2）核心指標與工程價值：針對“微流量痛點”的設計

重復性：＜±1.0%

對定量分配、加樣、微量供液等場景，重復性往往比“極限量程”更關(guān)鍵。＜±1.0% 的重復性有利于提升設備一致性與工藝穩(wěn)定性。

無活動部件：降低卡滯/污染/磨損風險

無葉輪、浮子、膜片等結(jié)構(gòu)，規(guī)避了低流量下常見的機械遲滯與卡死問題；對長期連續(xù)運行或含微小顆粒的液體更友好。

快速響應 + 實時監(jiān)測：適合閉環(huán)控制

集成 MEMS 傳感與數(shù)字信號處理，支持瞬時流量、累計流量、介質(zhì)溫度同步輸出。并配備 LCD 顯示，現(xiàn)場調(diào)試、巡檢時不依賴上位機也能直讀數(shù)據(jù)，利于快速定位“堵塞、氣泡、泵異常”等問題。

承壓與介質(zhì)兼容性：面向工業(yè)與高端設備

液路最大承壓：0.68 MPa

接觸液體材質(zhì)：316 不銹鋼毛細管

更適合對材料、耐腐蝕與長期穩(wěn)定性要求較高的設備集成應用。

低功耗與接口：便于嵌入式對接

供電：5 VDC

電流：＜200 mA

數(shù)字輸出：IIC（原文如此）

對 MCU/工控板卡集成門檻更低。

3）典型應用：從半導體到IVD，再到實驗分析儀器

A. 半導體精密制造

光刻膠涂覆（晶圓旋涂）：實時監(jiān)測供膠微流量，配合泵閥做閉環(huán)調(diào)節(jié)，提升膜厚均勻性、降低缺陷率。

濕法刻蝕與清洗：微小流量波動會影響 CD 均勻性，在線反饋有助于工藝腔體流體狀態(tài)穩(wěn)定。

精密冷卻系統(tǒng)：光刻/電子束曝光等設備的微量冷卻液監(jiān)測，保障熱管理精度，減少熱漂移引發(fā)的精度問題。

B. 醫(yī)療健康與體外診斷（IVD/POCT）

免疫/生化分析儀加樣：單次加樣量極小且要求一致性，實時流量監(jiān)測可提升檢測結(jié)果穩(wěn)定性。

生物反應器過程控制：灌流培養(yǎng)中的營養(yǎng)液與代謝廢液低流量交換，強調(diào)長期穩(wěn)定監(jiān)測。

藥物輸送系統(tǒng)：微量注射泵、胰島素泵等可作為閉環(huán)反饋元件，輔助防止過量輸注或堵塞。

C. 環(huán)境監(jiān)測與低碳技術(shù)

水質(zhì)在線監(jiān)測：水樣與試劑定量抽取要求高精度與長期穩(wěn)定，適合無人值守工況。

碳捕集與封存（CCUS）：胺液循環(huán)中微小流量差異可反映吸收效率，旁路安裝實時提供數(shù)據(jù)支持系統(tǒng)優(yōu)化。

D. 實驗分析與高端儀器

色譜/質(zhì)譜進樣系統(tǒng)：液相梯度依賴低流量精確控制，可用于泵后檢測校驗或微流控衍生系統(tǒng)。

微流控科研平臺：背壓變化會影響注射泵/氣壓泵實際流量，集成后可實時標定提升重復性。

自動化液體處理工作站：多通道微流量獨立監(jiān)測，幫助識別吸頭堵塞、漏氣等導致的加液失敗。

4）適合做“國產(chǎn)替代”的微流量測量/閉環(huán)部件

在 0.25~5 mL/min 這一微小液體流量段，ALS1005以 高重復性、無活動部件、快速響應、數(shù)字化輸出 為核心優(yōu)勢，面向半導體、生物醫(yī)藥、體外診斷與高端實驗儀器等對穩(wěn)定性與可維護性要求更高的系統(tǒng)，具備較強的工程落地價值。