在工業(yè)檢測(cè)應(yīng)用中，尺寸測(cè)量、三維形貌測(cè)量、位置距離判斷均屬于基礎(chǔ)應(yīng)用。工業(yè)數(shù)據(jù)采集工作，需要結(jié)合精度要求、工作環(huán)境等多重因素，選擇不同類型的傳感器。

光譜共焦位移傳感器，基于不同顏色（波長(zhǎng)）焦點(diǎn)的差異來(lái)測(cè)量距離，因此具備了測(cè)量精度高（可達(dá)納米級(jí)）、測(cè)量穩(wěn)定、適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)，可實(shí)現(xiàn)高精度視覺(jué)定位，高度測(cè)量、平面度測(cè)量等應(yīng)用需求，分辨率最高可達(dá)2nm。

本期內(nèi)容，小優(yōu)博士就為大家分享優(yōu)可測(cè)近期落地的多行業(yè)光譜共焦位移傳感器測(cè)量方案，覆蓋光伏、芯片、3C電子等工業(yè)場(chǎng)景。

光伏玻璃是太陽(yáng)能光伏組件的“鎧甲”和“窗口”。它既要保護(hù)電池片免受外界環(huán)境影響（風(fēng)沙、水汽、腐蝕），又要讓太陽(yáng)光穿透玻璃，產(chǎn)生更多電能。

過(guò)薄的玻璃會(huì)導(dǎo)致強(qiáng)度不足，厚度過(guò)大則會(huì)導(dǎo)致成本增加以及光透過(guò)性的衰弱。在生產(chǎn)中，光伏玻璃的厚度控制環(huán)節(jié)一般部署在退火窯后，切割之前。

近期，浙江某知名光伏玻璃客戶委托優(yōu)可測(cè)團(tuán)隊(duì)，部署在線檢測(cè)玻璃厚度的在線檢測(cè)方案。樣品3米寬度，厚度范圍為1.8-2.2mm，檢測(cè)精度要達(dá)到±0.04mm。該項(xiàng)目難點(diǎn)不在于精度，而是溫度。由于傳感器需要部署在退火窯后，現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境溫度較高，且產(chǎn)線上滾軸速度達(dá)到560m/h，存在抖動(dòng)，軸跳情況。

經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，優(yōu)可測(cè)工程師推薦基于AP-5035L光譜共焦傳感器搭建檢測(cè)方案。它的分辨率可達(dá)40nm，最小可測(cè)厚度達(dá)267μm，還具有高速度采樣，不挑材質(zhì)穩(wěn)定測(cè)量，靈活易用的優(yōu)勢(shì)。

方案落地后，順利通過(guò)客戶驗(yàn)收。在現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收環(huán)節(jié)中，客戶采用螺旋測(cè)微儀做數(shù)據(jù)比對(duì)，相關(guān)性做到0.04mm以內(nèi)。

芯片制造過(guò)程中，“光刻”是其中最關(guān)鍵的步驟之一。汞燈是深紫外光刻技術(shù)發(fā)展早期至成熟期最核心的光源。它發(fā)出的紫外光，通過(guò)掩模版照射到涂有感光材料的晶圓上，就能將精細(xì)的電路圖案“刻”出來(lái)。

汞燈一般包含石英放電管、電極、填充物（高純汞+啟動(dòng)氣體）、輔助電極等模塊。其中，石英放電管在提供承受100-200個(gè)大氣壓的超高壓環(huán)境，同時(shí)還要保證紫外光高效透過(guò)（特別是深紫外波段，微米級(jí)的厚度變化也會(huì)導(dǎo)致該波段的透過(guò)率下降）。生產(chǎn)中，它的厚度通常是需要重點(diǎn)監(jiān)控的數(shù)據(jù)。

近期，江浙滬地區(qū)某客戶委托優(yōu)可測(cè)團(tuán)隊(duì)，部署石英燈管厚度檢測(cè)方案，重復(fù)性精度±0.01mm，并且需要優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和抗震性，確保長(zhǎng)期測(cè)量精度。

經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，優(yōu)可測(cè)工程師推薦基于AP-6055光譜共焦傳感器搭建檢測(cè)方案。在20mm的測(cè)量范圍內(nèi)，AP-6055的線性精度可達(dá)±2um，還具有高速度采樣，不挑材質(zhì)穩(wěn)定測(cè)量，靈活易用的優(yōu)勢(shì)。

從接到需求到交付，僅用20天。優(yōu)可測(cè)工程師依托多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，提供完善的自動(dòng)化與軟件定制開(kāi)發(fā)服務(wù)，大幅縮短客戶投產(chǎn)時(shí)間。

電子玻璃廣泛應(yīng)用于各種電子設(shè)備中，如智能手機(jī)、平板電腦、電視和計(jì)算機(jī)顯示器等。生產(chǎn)中，電子玻璃的厚度是重點(diǎn)管控的指標(biāo)，如果厚度不均勻或偏離標(biāo)準(zhǔn)，可能會(huì)導(dǎo)致玻璃強(qiáng)度不足、光學(xué)變形、易于破裂等問(wèn)題。

近期，背景某某知名中外合資客戶委托優(yōu)可測(cè)團(tuán)隊(duì)，部署電子玻璃厚度檢測(cè)方案，公差要求±0.05mm，重復(fù)性精度≤0.005mm。不同型號(hào)的電子玻璃，往往由于功能需求不同，其成份與折射率也有差異。采用光學(xué)設(shè)備進(jìn)行測(cè)量時(shí)。不同樣品之間的折射率差距，也成為了需要考慮的重點(diǎn)。

經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，優(yōu)可測(cè)工程師推薦基于AP-5055光譜共焦傳感器搭建檢測(cè)方案，它的分辨率高達(dá)20nm，還具有高速度采樣，不挑材質(zhì)穩(wěn)定測(cè)量，靈活易用的優(yōu)勢(shì)。為了避免了單頭依賴折射率參數(shù)的局限，工程師搭建了雙頭對(duì)射結(jié)構(gòu)，這種方案對(duì)透明材料可直接識(shí)別，無(wú)需額外校準(zhǔn)折射系數(shù)，實(shí)現(xiàn)更穩(wěn)定的厚度測(cè)量。

方案落地后，在現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收環(huán)節(jié)中，整套方案的重復(fù)性精度達(dá)到了0.005mm，順利通過(guò)客戶驗(yàn)收。

優(yōu)可測(cè)光譜共焦位移傳感器測(cè)量解決方案，不僅適配玻璃厚度、石英厚度等檢測(cè)應(yīng)用場(chǎng)景，還適用于平整度檢測(cè)、高度段差檢測(cè)、滾軸跳動(dòng)、液位高度、內(nèi)徑測(cè)量、機(jī)械定位、球面鏡面型等應(yīng)用場(chǎng)景，能夠輕松應(yīng)對(duì)復(fù)雜工況、高精度、快節(jié)拍生產(chǎn)等多重檢測(cè)難點(diǎn)。

依托全系高精度傳感器與定制化方案服務(wù)能力，優(yōu)可測(cè)可針對(duì)不同產(chǎn)品尺寸、檢測(cè)需求、產(chǎn)線條件量身打造專屬自動(dòng)化檢測(cè)方案，助力各大制造行業(yè)實(shí)現(xiàn)質(zhì)檢自動(dòng)化、精準(zhǔn)化升級(jí)，有效提升產(chǎn)品良率與生產(chǎn)效率！