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金離子注入石英片制備了一種微流控泵,實(shí)現(xiàn)激光實(shí)時(shí)操控宏觀流體運(yùn)動

MEMS ? 來源:lp ? 2019-03-25 14:32 ? 次閱讀
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近日,電子科技大學(xué)基礎(chǔ)與前沿研究院王志明教授團(tuán)隊(duì)在《美國科學(xué)院院報(bào)》(PNAS)上發(fā)表題為“Gold Implanted Plasmonic Quartz Plate as a Launch Pad for Laser Driven Photoacoustic Microfluidic Pumps”的研究論文。通過金離子注入石英片制備了一種微流控泵,實(shí)現(xiàn)了激光實(shí)時(shí)操控宏觀流體運(yùn)動。

基礎(chǔ)院博士后岳帥、博士生林峰和河南工程學(xué)院張秋慧副教授為共同第一作者,電子科技大學(xué)基礎(chǔ)與前沿研究院為第一作者及第一通訊單位。電子科技大學(xué)王志明教授和美國休斯頓大學(xué)Jiming Bao教授為共同通訊作者,合作研究單位包括河南工程學(xué)院、美國休斯頓大學(xué)、美國普渡大學(xué)。

背景介紹

微泵是微流控器件的核心,在基礎(chǔ)研究和前沿技術(shù)上有廣泛的應(yīng)用。根據(jù)工作原理,微泵主要可以分為兩大類:機(jī)械和非機(jī)械泵。隨著微機(jī)電系統(tǒng)的出現(xiàn),由閥和薄膜等活動組件構(gòu)成的微機(jī)械泵替代了宏觀尺寸的機(jī)械泵。雖然非機(jī)械微泵沒有活動組件,但仍然需要制備微細(xì)結(jié)構(gòu)和電學(xué)接觸來產(chǎn)生熱、電、磁和超聲激勵來驅(qū)動流體。隨著制備工藝的進(jìn)步,微泵的性能也有所提升。但是,在過去的幾十年里,其設(shè)計(jì)和工藝原理仍然幾乎沒有變化。并且,基礎(chǔ)研究的深入發(fā)展對泵的尺寸和精確控制提出了更高的要求,傳統(tǒng)的微機(jī)電泵的局限越來越明顯。

圖1:金離子注入石英片及該石英片在激光作用下產(chǎn)生的束流

圖2:移動激光束產(chǎn)生的移動微泵和兩束激光產(chǎn)生的雙微泵

本文亮點(diǎn)

在本工作中,王志明教授團(tuán)隊(duì)用全新的設(shè)計(jì)和工作原理制備出了一種新型的微泵。該器件沒有活動組件或電極,因此不需要微納制備工藝。并且,該泵的尺寸、數(shù)量、位置和工作時(shí)間都可以被實(shí)時(shí)地遠(yuǎn)程及程序化控制。通過離子注入技術(shù)在石英片中注入濃度為1016/cm2的金原子,在利用我們團(tuán)隊(duì)之前發(fā)表在Science Advances上的光致超聲,激光推動流體的原理,脈沖激光就可以實(shí)時(shí)地產(chǎn)生持續(xù)的超聲,推動流體快速流動(如圖1)。由于整個(gè)石英片的表面都被等離子層覆蓋,超聲波可以從其表面的任意點(diǎn)產(chǎn)生。也就是說該石英片上的任一點(diǎn)就是一個(gè)微流泵(如圖2)。

總結(jié)與展望

該器件克服了之前光致超聲需要激光束在同一點(diǎn)產(chǎn)生超聲腔體的缺點(diǎn)。通過研究該微流泵背后的泵浦機(jī)理,探索激光、流體和超聲的相互作用,可以極大地推動化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究,甚至有望將該技術(shù)推廣進(jìn)入到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用階段。由于光致超聲的原理具有普適性,大量的吸光材料如碳納米管、金納米顆粒、石墨烯、二硫化鉬、半導(dǎo)體聚合物和染料分子都有望用來產(chǎn)生光致超聲從而進(jìn)行流體控制。該研究標(biāo)志著一系列微泵的產(chǎn)生,打開了其光流控和微流控的廣泛應(yīng)用。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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原文標(biāo)題:金粒子注入石英片制成激光驅(qū)動的微流泵

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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