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光譜橢偏術(shù)在二維材料光學(xué)表征中的應(yīng)用:從石墨烯到TMDs2026-03-09 18:03
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臺階儀vs.白光干涉:薄膜厚度測量技術(shù)選型指南2026-03-06 18:05
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臺階儀在輕質(zhì)PET@Cu復(fù)合集流體制備的應(yīng)用2026-03-02 18:03
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臺階儀應(yīng)用丨電子束蒸鍍與磁控濺射鋁膜的厚度與均勻性對比研究2026-02-25 18:04
鋁因其優(yōu)異的導(dǎo)電性、良好的延展性和低成本,廣泛應(yīng)用于芯片內(nèi)部的金屬互連層。電子束蒸發(fā)與磁控濺射是兩種主流的鋁膜沉積技術(shù)。以往國內(nèi)研究多認(rèn)為磁控濺射制備的鋁膜性能優(yōu)于電子束蒸發(fā),但相關(guān)研究多采用石墨坩堝,存在熔融鋁與坩堝浸潤、蒸鍍速率低、膜層疏松等問題。Flexfilm費曼儀器探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量,精確測定樣品的表面臺 -
基于橢偏光譜法研究不同基底對TiO?/SiO?薄膜光學(xué)常數(shù)的影響2026-02-13 18:01
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臺階儀在PET復(fù)合集流體鋁層厚度與表面形貌分析中的應(yīng)用2026-02-11 18:05
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光刻膠涂層如何實現(xiàn)納米級均勻性?橢偏儀的工藝控制與缺陷分析2026-02-09 18:01
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臺階儀在復(fù)合集流體工藝質(zhì)量中的應(yīng)用:鍍層厚度與均勻性監(jiān)控及界面結(jié)合性能表征2026-02-06 18:02
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鋰離子電池高性能負(fù)極結(jié)構(gòu)化復(fù)合集流體綜述2026-02-04 18:03