IT之家3月6日消息據(jù)羊城晚報報道，3月4日早上8點不到，中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司從從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進入廠區(qū)，這臺機器主要用于企業(yè)復工復產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴容。

截至3月4日，深圳出口加工區(qū)內企業(yè)復工復產(chǎn)率已達90%。據(jù)IT之家了解，深圳海關已全面推廣進出口貨物“提前申報”通關模式，進口覆蓋所有企業(yè)，出口只要是一般信用以上企業(yè)都可以按“提前申報”模式報關。

中芯國際表示，坪山海關一系列服務措施，保障設備第一時間進入廠區(qū)完成安裝進入生產(chǎn)，生產(chǎn)線擴容后全年預計可為企業(yè)增加10%左右的營收。

對于產(chǎn)業(yè)內的人士來說，光刻機是最重要的核心內容之一，目前全世界最先進工藝的光刻機壟斷集中在荷蘭ASML、日本佳能、尼康手里。

IT之家獲悉，光刻機作為集成電路制造中最關鍵的設備，對芯片制作工藝有著決定性的影響，被譽為“超精密制造技術皇冠上的明珠”，制造和維護均需要高度的光學和電子工業(yè)基礎。光刻機工作原理跟照相機類似，不過它的底片是涂滿光刻膠的硅片，各種電路圖案經(jīng)激光縮微投影曝光到光刻膠上，光刻膠的曝光部分與硅片進行反應，將其永久刻在硅片上，這就是芯片生產(chǎn)最重要的步驟。