半導(dǎo)體一般是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體的應(yīng)用非常廣泛,在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用等都有應(yīng)用。那么半導(dǎo)體工藝制程中常用的工序有哪些呢?下面一起來看看吧。
半導(dǎo)體元件制作過程可以分為:
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晶圓處理制程
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晶圓針測(cè)制程
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IC構(gòu)裝制程
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測(cè)試制程
晶圓處理制程
主要是在晶圓上制作電路以及電子元件,有很多步驟,也是最燒錢的一段。步驟多的話有數(shù)百道,并且所使用的機(jī)器昂貴,并且對(duì)環(huán)境以及各方面都有要求。
基本步驟是先清洗,之后氧化,然后進(jìn)行微影、蝕刻等步驟,以完成晶圓電路的加工制作。
晶圓針測(cè)制程
在Wafer Fab制程后,開元上有一格格的小格,這些晶圓會(huì)進(jìn)行針測(cè),會(huì)使用專門的一起來進(jìn)行測(cè)試,不合格的將會(huì)做上記號(hào)。
然后晶圓會(huì)將晶粒分割成獨(dú)立的晶粒。
IC構(gòu)裝制程
包裝晶粒用來制成其他電路,為了制造所生產(chǎn)出來電路的保護(hù)層,避免受到機(jī)械性刮傷。
本文綜合自EETOP、百度百科、CSDN博客
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